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総合理工
プラズマエレクトロニクス
| キーワード | 研究者名 | 研究情報 |
|---|---|---|
| プラズマ応用、プラズマ診断、新プラズマ源開発、気液混合プラズマ、重相構造プラズマ、非熱平衡プラズマ、マイクロ波プラズマ、大気圧プラズマ | 石島 達夫 |
共同研究希望テーマ
・大気圧非平衡プラズマを用いた液中誘起化学反応促進法の開発 ・反応性気液プラズマを用いた新規化学プロセスの創製
研究課題
・マイクロ波励起の水プラズマを用いた環境調和型の半導体製造プロセスの開発
出願済みの発明名称
・プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 ・プラズマ処理装置 ・成膜装置及びそれを用いた成膜方法 ・塩水処理方法 ・消弧絶縁材料および消弧装置 ・プラズマ生成装置 ・液中プラズマ処理装置および液中プラズマ処理方法 ・プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置 ・プラズマ切断機および切断方法 ・液体処理装置および液体処理方法 ・プラズマ処理装置 ・マイクロ波プラズマ処理装置 ・マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 ・プラズマ生成装置 ・樹脂ホースおよびその製法 ・液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法 ・液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法 ・プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 ・プラズマ処理装置、プラズマ酸化処理装置およびプラズマ処理方法
科研費採択テーマ
・プラズマ誘起液中化学反応場の解析 ・高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明 ・高次に時空間制御した変調熱プラズマ法による高純度ナノ材料の革新的量産技術 ・原料間歇同期投入を伴う任意波形変調熱プラズマを用いた高純度ナノ粒子の革新量産技術 ・窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御 |