データ更新日：2025年04月03日
吉元 健治 （よしもと けんじ） 准教授 Yoshimoto Kenji
所属組織・役職等
設計製造技術研究所 デジタルツイングループ
准教授
教育分野
【学士課程】
理工学域 フロンティア工学類
【大学院前期課程】
自然科学研究科 フロンティア工学専攻
【大学院後期課程】
自然科学研究科 自然システム学専攻
所属研究室等
自然科学研究科 フロンティア工学専攻 化学機械プロセス工学研究室
学歴
【出身大学院】
University of Wisconsin - Madison Graduate School of Engineering Department of Chemical Engineering 2005 修了
【取得学位】
Ph.D.
職歴
金沢大学 設計製造技術研究所 准教授(2024-)
東レ株式会社 先端材料研究所 主席研究員(2022-2023)
先端素材高速開発技術研究組合 主任研究員(2020-2022)
東レ株式会社 先端材料研究所 主任研究員(2019-2020)
京都大学 学際融合教育研究推進センター 特定准教授(2012-2019)
GlobalFoundries Member of Technical Staff(2009-2012)
Advanced Micro Devices Senior Research Engineer(2008-2009)
生年月
所属学会
フォトポリマー学会
応用物理学会
SPIE（国際光工学会）
化学工学会
高分子学会
学内委員会委員等
受賞学術賞
○フォトポリマー学会 最優秀論文賞(2017)
専門分野
生物物理・化学物理・ソフトマターの物理
専門分野キーワード
研究課題
次世代リソグラフィ技術創出に向けた誘導自己組織化(DSA)の研究開発
革新高分子分離膜のデジタル設計
著書
- Microlithography: Science and Technology, 3rd Ed. (B. Smith & K. Suzuki Eds.) CRC Press 2020/05 原著書 分担執筆 Chi-chun Liu,Kenji Yoshimoto,Juan de Pablo,Paul Nealey 1439876754
- ブロック共重合体の構造設計と応用展開(竹中幹人監修) シーエムシー出版 2018/10 原著書 分担執筆 吉元 健治 9784781313511
論文
- Effective pitch reduction of self-assembled lamellae by the use of (PS-b-PMMA)n multiblock copolymers Kenji Yoshimoto,Takashi Taniguchi Japanese Journal of Applied Physics 64巻 02SP05頁 2025/02/03 査読有 研究論文（学術雑誌）
? - Bottom-up Multiscale Simulation of Nonlinear Rheology for Entangled Polymer Melts: Using Atactic Polystyrene as An Example Heyi Liang,Kenji Yoshimoto,Stuart J. Rowan,Juan J. de Pablo Macromolecules 57巻 24号 11808頁 2024/12/04 査読有 研究論文（学術雑誌）
- Recent developments on multiscale simulations for rheology and complex flow of polymers Takeshi Sato,Kenji Yoshimoto Korea-Australia Rheology Journal 36巻 4号 253頁 2024/10/24 査読有 研究論文（学術雑誌）
- Multiscale rheology model for entangled Nylon 6 melts Heyi Liang,Kenji Yoshimoto,Masahiro Kitabata,Umi Yamamoto,Juan J. de Pablo Journal of Polymer Science 60巻 22号 3071頁 2022/10/07 査読有 研究論文（学術雑誌）
- Control of the Cell Structure of UV-Induced Chemically Blown Nanocellular Foams by Self-Assembled Block Copolymer Morphology Podchara Rattanakawin,Kenji Yoshimoto,Yuta Hikima,Shinsuke Nagamine,Yuhan Jiang,Masatoshi Tosaka,Shigeru Yamago,Masahiro Ohshima Macromolecules 55巻 12号 5176頁 2022/06/28 査読有 研究論文（学術雑誌）
- Bottom-Up Multiscale Approach to Estimate Viscoelastic Properties of Entangled Polymer Melts with High Glass Transition Temperature Heyi Liang,Kenji Yoshimoto,Phwey Gil,Masahiro Kitabata,Umi Yamamoto,Juan J. de Pablo Macromolecules 55巻 8号 3159頁 2022/04/05 査読有 研究論文（学術雑誌）
- Viscoelastic phase separation model for ternary polymer solutions The Journal of Chemical Physics 154巻 10号 2021/03/11 査読有 研究論文（学術雑誌） ?
- Highly Ordered Nanocellular Polymeric Foams Generated by UV-Induced Chemical Foaming Podchara Rattanakawin,Kenji Yoshimoto,Yuta Hikima,Alvin Chandra,Teruaki Hayakawa,Masatoshi Tosaka,Shigeru Yamago,Masahiro Ohshima ACS Macro Letters 9巻 10号 1433頁 2020/10/20 査読有 研究論文（学術雑誌）
- Development and Optimization of UV-Induced Chemical Foaming Process Journal of Photopolymer Science and Technology 32巻 5号 693頁 2019/06/24 査読有 研究論文（学術雑誌） ?
- 誘導自己組織化の実現に向けて 吉元健治 高分子 67巻 9号 523頁 2018/09/01 査読有 展望 研究論文（学術雑誌）
- Synthesis of Photocleavable Block Copolymers for UV Induced Foaming Journal of Photopolymer Science and Technology 31巻 5号 647頁 2018/06/25 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌） ?
- Direct Self-Assembly for Non-Periodic Designs Journal of Photopolymer Science and Technology 29巻 5号 709頁 2016/06 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌） ?
- Effect of wall potential on morphology of symmetric diblock copolymers in nanotrench Japanese Journal of Applied Physics 55巻 6S1号 06GE01頁 2016/04/13 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌） ?
- Control of morphological defects at the boundary between the periodic and non-periodic patterns in directed self-assembly process ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VIII 9777巻 97771O頁 2016/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Effects of thermal fluctuations and block copolymers compositions on defects in directed self-assembly hole shrink process JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 54巻 6号 06FE01頁 2015/06 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Optimization of directed self-assembly hole shrink process with simplified model Kenji Yoshimoto,Ken Fukawatase,Masahiro Ohshima,Yoshihiro Naka,Shimon Maeda,Satoshi Tanaka,Seiji Morita,Hisako Aoyama,Shoji Mimotogi JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 13巻 3号 031305頁 2014/07 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- DFM for Defect-Free DSA Hole Shrink Process ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VI 9049巻 90491頁 2014/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Multi-Scale DSA Simulations For Efficient Hotspot Analysis ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VI 9049巻 90492L頁 2014/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Large-Scale Dynamics of Directed Self-Assembly Defects on Chemically Pre-Patterned Surface ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES V 8680巻 86801頁 2013 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Large-Scale Simulations of Directed Self-Assembly with Simplified Model Journal of Photopolymer Science and Technology 26巻 6号 809頁 2013/06 査読有 研究論文（学術雑誌） ?
- Exploration of the directed self-assembly based nano-fabrication design space using computational simulations Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 8680巻 868013頁 2013/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Scalable Simulations for Directed Self-Assembly Patterning with the use of GPU Parallel Computing ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES IV 8323巻 83232頁 2012/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- New Methodology to Predict Pattern Collapse for 14nm and Beyond OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXV, PTS 1AND 2 8326巻 83261頁 2012/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Fundamental Investigation of Negative Tone Development (NTD) for the 22nm node (and beyond) ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVIII 7972巻 797206頁 2011/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Revisit Pattern Collapse for 14nm Node and Beyond ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVIII 7972巻 79720頁 2011/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Hexameric Helicase Deconstructed: Interplay of Conformational Changes and Substrate Coupling BIOPHYSICAL JOURNAL 98巻 8号 1449頁 2010/04 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- CDSEM Focus/Dose Monitor for Product Applications METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXIV 7638巻 763804頁 2010/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Considerations in Source-Mask Optimization for Logic Applications OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIII 7640巻 76401J頁 2010/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Inverse vs. traditional OPC for the 22nm node SPIE Proceedings 7274巻 72743A頁 2009/03/13 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Calibrating OPC model with full CD profile data for 2D and 3D patterns using scatterometry A. D. Dave,O. Kritsun,Y. Deng,K. Yoshimoto,J. Li,J. Hu Proc. SPIE 7274巻 727415頁 2009/03 査読有 研究論文（プロシーディング）
- Correlation of Experimental and Simulated Cure-Induced Photoresist Distortions in Double Patterning ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVI 7273巻 727309頁 2009/03 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Mechanical properties of polymer nanostructures: measurements based on deformation in response to capillary forces APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING 90巻 2号 277頁 2008/02 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Influence of confinement on the fragility of antiplasticized and pure polymer films PHYSICAL REVIEW LETTERS 97巻 4号 045502頁 2006/07 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Local mechanical properties of polymeric nanocomposites PHYSICAL REVIEW E 72巻 3号 31801頁 2005/09 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Isothermal stress and elasticity tensors for ions and point dipoles using Ewald summations PHYSICAL REVIEW E 71巻 6号 61102頁 2005/06 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Statistical calculation of elastic moduli for atomistic models PHYSICAL REVIEW B 71巻 18号 184108頁 2005/05 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Local dynamic mechanical properties in model free-standing polymer thin films JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS 122巻 14号 1頁 2005/04 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- Mechanical heterogeneities in model polymer glasses at small length scales PHYSICAL REVIEW LETTERS 93巻 17号 1頁 2004/10 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- A two-dimensional model of the deformation of photoresist structures using elastoplastic polymer properties JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 96巻 4号 1857頁 2004/08 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- The use of surfactant in the rinse to improve collapse behavior of chemically amplified photoresists ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XXI, PTS 1 AND 2 5376巻 842頁 2004 査読無 研究論文（プロシーディング）
- Deformation of nanoscopic polymer structures in response to well-defined capillary forces ADVANCED MATERIALS 15巻 14号 1180頁 2003/07 査読有 原著論文 研究論文（学術雑誌）
- 「全原子モデルに立脚したボトムアップ型粗視化モデルを用いたポリマーメルトの粘弾性予測」 吉元健治,北畑雅弘 アンサンブル 25巻 1号 59頁 2023/01 査読有
講演・口頭発表等
その他（報告書など）
- 大規模全原子分子動力学シミュレーションによるポリマーメルトの絡み合い分子量予測 吉元健治 HPCI システム利用研究課題 利用報告書 2022/11 査読無
- 高分子分離膜の大規模シミュレーション 吉元健治 京都大学 学術情報メディアセンター 全国共同利用版［広報］ 17巻 1号 49頁 2018/12 査読無 ⑧総説・解説（大学・研究所紀要）
- 誘導自己組織化の実現に向けて 吉元健治 高分子 67巻 9号 523頁 2018/09/01 査読有
- 高分子溶液の相分離に関する大規模なシミュレーション 吉元健治 京都大学化学研究所スーパーコンピュータシステム研究成果報告書 2017巻 58頁 2017/03 査読無 ⑧総説・解説（大学・研究所紀要）
- 大規模スケールでのブロック共重合体薄膜の自己組織化形状予測 吉元健治 京都大学 学術情報メディアセンター 全国共同利用版［広報］ 13巻 2号 4頁 2015/02 査読無 ⑧総説・解説（大学・研究所紀要）
- ウィスコンシン州立大学マディソン校化学工学科 : ニーリー教授とデパブロ教授の先端ナノリソグラフィの研究について 吉元 健治 成形加工 15巻 5号 347頁 2003/05/20 査読無
芸術・フィールドワーク
特許
○学習用データ生成方法および学習用データ生成プログラム(特許番号：特開2025-005414)
○予備学習済みモデル用の学習用データ生成方法、学習済みモデル生成方法、物性推定方法、予備学習済みモデル用の学習用データ生成プログラム、学習済みモデル生成プログラムおよび物性推定プログラム(特許番号：特開2024-089623)
共同研究希望テーマ
科研費
○研究活動スタート支援「伸長流動下での非溶媒誘起相分離」(2024-2025) 代表者
競争的資金・寄付金等
共同研究・受託研究実績
A-STEP採択課題
学域・学類担当授業科目
○マテリアルシミュレーションＢ(2024)
○先端テクノロジー概論Ａ(2024)
○マテリアルシミュレーションＡ(2024)
○マテリアルプロセス創成(2024)
大学院担当授業科目
○プロセス工学特論Ａ（機械）(2024)
○プロセス工学特論B（機械）(2024)
他大学の客員教授
○大阪公立大学 （非常勤講師）
教育活動（FD）に関する研究
国際事業協力
留学生参加の社会活動
審議会等の参加
○第37回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議論文委員(2024/06-2024/12)
○フォトポリマー学会組織委員(2024/04-2024/08)