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研究者情報

データ更新日:2017年05月23日

德田 規夫 (とくだ のりお) 准教授 TOKUDA Norio

メール 研究室ウェブサイト

所属組織・役職等

理工研究域 電子情報学系

教育分野

【学士課程】
理工学域 電子情報学類
【大学院前期課程】
自然科学研究科 電子情報科学専攻
【大学院後期課程】
自然科学研究科 電子情報科学専攻

所属研究室等

薄膜電子工学研究室

学歴

【出身大学院】
筑波大学 修士課程 理工学研究科 理工学専攻 2002/03 修了
筑波大学 博士課程 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻 2005/03 修了
【出身大学】
筑波大学 第三学群 工学システム学類 2000/03 卒業
【取得学位】
博士(工学)

職歴

産業技術総合研究所 特別研究員(2005/04/01-2009/03/31)
金沢大学 理工研究域 電子情報学系 助教(2009/04/01-2011/08/31)
金沢大学 理工研究域 電子情報学系 准教授(2011/09/01-)

生年月

1976年06月

所属学会

応用物理学会
日本表面科学会
ナノ学会
日本結晶成長学会
表面技術協会

学内委員会委員等

○広報委員 ④委員(2012-2013)

受賞学術賞

○筑波大学学長表彰(2005/03)
○筑波大学大学院 数理物質科学研究科長賞(2005/03)
○第20回ダイヤモンドシンポジウム ポスターセッション賞(2006/11)
○第21回(2006年秋季)応用物理学会 講演奨励賞(2007/03)
○ナノ学会第5回大会 若手優秀発表賞(2007/05/22)
○第38回結晶成長国内会議 講演奨励賞(2008/11)
○第11回(表面技術協会 第120回講演大会)優秀講演賞(2010/03/16)
○2015年秋季学術講演会Poster Award(2015/10/01)
○第38回(2016年度)応用物理学会優秀論文賞(2016/09/13)

専門分野

無機材料・物性

専門分野キーワード

半導体、表面科学、ダイヤモンド、グラフェン

研究課題

シリコン及びカーボン系低次元ナノ構造物の作製と機能の創出

シリコン及びカーボン系低次元ナノ構造物の作製と機能の創出 シリコン及びカーボン系材料を用いたメゾスコピック系の構造物を作製し、その量子力学的機能を用いた新規ナノエレクトロニクスの創出を目指しています。
また、同素体カーボン材料(フラーレン、カーボンナノチューブ、グラフェン、ダイヤモンドなど)を用いたカーボンエレクトロニクスへの展開も行っています。

ダイヤモンドの結晶成長、ドーピング・表面制御

ダイヤモンドの結晶成長、ドーピング・表面制御 ダイヤモンドは物質中最高の硬度や熱伝導率など優れた物理的特性を有しているだけではなく、Siや SiCよりも高い電子及び正孔の移動度を有し、かつ、絶縁破壊電界はSiや次世代パワーデバイス半導体材料と期待されているSiC、GaNよりも高いことから、未来型極限パワーデバイス材料として期待されています。
我々は、その実現を目指し、マイクロ波プラズマ化学気相堆積法を用いてダイヤモンドの結晶成長、ドーピング、表面制御を行っています。

著書

  • Novel Aspects of Diamond Springer International Publishing 2014/11 ①原著書 ②共著 Yang, Nianjun (Ed.) (Chapter 1) Tokuda, Norio 978-3-319-09833
  • 2013ナノカーボン技術大全 電子ジャーナル 2012/11 ①原著書 ②共著

論文

  • Formation of Step-Free Surfaces on Diamond (111) Mesas by Homoepitaxial Lateral Growth Norio Tokuda, Toshiharu Makino, Takao Inokuma, and Satoshi Yamasaki Jpn. J. Appl. Phys. 51巻 090107頁 2012 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Nanometer Scale Height Standard Using Atomically Controlled Diamond Surface Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Satoshi Gonda, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Appl. Phys. Express 2巻 5号 055001頁 2009/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Flattening of oxidized diamond (111) surfaces with H2SO4/H2O2 solutions Norio Tokuda, Daisuke Takeuchi, Sung-Gi Ri, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Diamond Relat. Mater. 18巻 2-3号 213-215頁 2009/02 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Atomically flat diamond (111) surface formation by homoepitaxial lateral growth Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Sung-Gi Ri, Masahiko Ogura, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Diamond Relat. Mater. 17巻 7-10号 1051-1054頁 2008/07 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Roughening of atomically flat diamond (111) surface by a hot HNO3/H2SO4 solution Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Sung-Gi Ri, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Diamond Relat. Mater. 17巻 4-5号 486-488頁 2008/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)

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  • Hillock-Free Heavily Boron-doped Homoepitaxial Diamond Films on Misoriented (001) Substrates Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Jpn. J. Appl. Phys. 46巻 4A号 1469-1470頁 2007/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • The role of boron atoms in heavily boron-doped semiconducting homoepitaxial diamond growth - Study of surface morphology Norio Tokuda, Takeyasu Saito, Hitoshi Umezawa, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Diamond Relat. Mater. 16巻 2号 409-411頁 2007/02 査読有 ①原著論文
  • Selective Growth of Ag Nanowires on Si(111) Surfaces by Electroless Deposition Norio Tokuda, Naoyuki Sasaki, Hidenobu, Watanabe, Kazushi Miki, Satoshi Yamasaki, Ryu Hasunuma and Kikuo Yamabe J. Phys. Chem. B 109巻 26号 12655-12657頁 2005/07 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Selective Growth of Monoatomic Cu Rows at Step Edges on Si(111) Substrates in Ultralow-Dissolved-Oxygen Water Norio Tokuda, Masayasu Nishizawa, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki, Ryu Hasunuma and Kikuo Yamabe Jpn. J. Appl. Phys. 44巻 19号 L612-L615頁 2005/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Fabrication of Cu Nanowires along Atomic Step Edge Lines on Si(111) Substrates Norio Tokuda, Hidenobu Watanabe, Daisuke Hojo, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe Appl. Surf. Sci. 237巻 1-4号 528-531頁 2004/10 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Leakage Current Distribution and Dielectric Breakdown of Cu-Contaminated Thin SiO2 Norio Tokuda, Shingo Nishiguchi, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe J. Electrochem. Soc. 151巻 4号 F81-F86頁 2004/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Local Dielectric Degradation of Cu-Contaminated SiO2 Thin Films Norio Tokuda, Shingo Nishiguchi, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe Solid State Phenomena 95-96巻 641-646頁 2004 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Selective Growth of Cu Nanowires on Si(111) Substrates Norio Tokuda, Daisuke Hojo, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe Jpn. J. Appl. Phys. 42巻 2B号 L1210-L1212頁 2003/10 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Leakage Current Distribution of Cu-Contaminated Thin SiO2 Norio Tokuda, Takahiro Kanda, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe Jpn. J. Appl. Phys. 42巻 2B号 L160-L162頁 2003/02 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • SiO2 Surface and SiO2/Si Interface Topography Change by Thermal Oxidation Norio Tokuda, Masahide Murata, Daisuke Hojo and Kikuo Yamabe Jpn. J. Appl. Phys. 40巻 8号 4763-4768頁 2001/08 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • 原子的に平坦化されたSi(111)表面へのCuナノ細線の形成と原子間力顕微鏡およびフーリエ変換赤外分光法による評価 徳田規夫、西澤正泰, 三木一司, 山崎聡, 蓮沼隆, 山部紀久夫 日本赤外線学会誌 15巻 1+2号 78-83頁 2006/02 査読有 ①原著論文
  • Diamond Schottky-pn diode with high forward current density and fast switching operation Toshiharu Makino, Satoshi Tanimoto, Yusuke Hayashi, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Kazuhiro Oyama, Hiromichi Ohashi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Appl. Phys. Lett. 94巻 26号 262101頁 2009/06 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Diamond nanowires, a new approach towards next generation electrochemical gene sensor platforms C. E. Nebel, N. Yang, H. Uetsuka, E. Osawa, N. Tokuda, O. Williams Diamond Relat. Mater. 18巻 5-8号 910-917頁 2009/05 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Characterization of specific contact resistance on heavily phosphorus-doped diamond films Hiromitsu Kato, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki Diamond Relat. Mater. 18巻 5-8号 782-785頁 2009/05 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Electrical and light-emitting properties from (111)-oriented homoepitaxial diamond p-i-n junctions Toshiharu Makino, Sung-Gi Ri, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Satoshi Yamasaki, Hideyo Okushi Diamond Relat. Mater. 18巻 5-8号 764-767頁 2009/05 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Selective Growth of Buried n+ Diamond on (001) Phosphorus-Doped n-Type Diamond Film Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Appl. Phys. Express 2巻 5号 055502頁 2009/04 査読有 ①原著論文
  • High performance of diamond p+-i-n+ junction diode fabricated using heavily doped p+ and n+ layers Kazuihiro Oyama, Sung-Gi Ri, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Appl. Phys. Lett. 94巻 15号 152109頁 2009/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Recovery of negative electron affinity by annealing on (111) oxidized diamond surfaces Daisuke Takeuchi, Sung-Gi Ri, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki Diamond Relat. Mater. 18巻 2-3号 206-209頁 2009/02 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Doping-induced changes in the valence band edge structure of homoepitaxial B-doped diamond films below Mott's critical density PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 206巻 1991-1995頁 2009/09 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Vertically aligned diamond nanowires: Fabrication, characterization, and application for DNA sensing PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 206巻 2048-2056頁 2009/09 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Diamond Schottky-pn diode with high forward current density PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 206巻 2086-2090頁 2009/09 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Low specific contact resistance of heavily phosphorus-doped diamond film Hiromitsu Kato, Hitoshi Umezawa, Norio Tokuda, Daisuke Takeuchi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki APPLIED PHYSICS LETTERS 93巻 9号 202103頁 2008/11 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Electrical and light-emitting properties of homoepitaxial diamond p-i-n junction Toshiharu Makino, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Shokichi Kanno, Satoshi Yamasaki, and Hideyo Okushi PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 205巻 9号 2200-2206頁 2008/08 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Electrical activity of doped phosphorus atoms in (001) n-type diamond Hiromitsu Kato, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Satoshi Yamasaki, and Hideyo Okushi PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 205巻 9号 2195-2199頁 2008/08 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Fermi level pinning-free interface at metals/homoepitaxial diamond (111) films after oxidation treatments Sung-Gi Ri, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki APPLIED PHYSICS LETTERS 92巻  112112頁 2008/03 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Mapping of extended defects in B-doped (001) homoepitaxial diamond films by electron-beam-induced current (EBIC) and cathodoluminescence (CL) combination technique Sung-Gi Ri, Xiao Li Yuan, Takashi Sekiguchi, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Hideyo Okushi and Satoshi Yamasaki DIAMOND AND RELATED MATERIALS 17巻 4-5号 489-493頁 2008/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Photoelectron emission from heavily B-doped homoepitaxial diamond films Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, and Satoshi Yamasaki DIAMOND AND RELATED MATERIALS 17巻 4-5号 813-816頁 2008/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Exciton-derived Electron Emission from (001) Diamond p–n Junction Diodes with Negative Electron Affinity Daisuke Takeuchi, Toshiharu Makino, Sung-Gi Ri, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Applied Physics Express 1巻 1号 015004頁 2008/01 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Direct observation of two-dimensional growth at SiO2/Si(111) interface Daisuke Hojo, Norio Tokuda, Kikuo Yamabe THIN SOLID FILMS 515巻 20-21号 7892-7898頁 2007/08 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Inhomogeneous DNA bonding to polycrystalline CVD diamond C. E. Nebel, H. Uetsuka, B. Rezek, D. Shin, N. Tokuda, and T. Nakamura DIAMOND AND RELATED MATERIALS 16巻 8号 1648-4651頁 2007/08 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Diamond and biology Christoph E. Nebel, Dongchan Shin, Bohuslav Rezek, Norio Tokuda, Hiroshi Uetsuka and Hideyuki Watanabe Journal of the Royal Society Interface 4巻 14号 439-461頁 2007/06 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Electrical and light-emitting properties of (001)-oriented homoepitaxial diamond p-i-n junction Toshiharu Makino, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Hideyuki Watanabe, Sung-Gi Ri, Satoshi Yamasaki and Hideyo Okushi DIAMOND AND RELATED MATERIALS 16巻 4-7号 1025-1028頁 2007/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Cycle of two-step etching process using ICP for diamond MEMS applications Takatoshi Yamada, Hiromichi Yoshikawa, Hiroshi Uetsuka, Somu Kumaragurubaran, Norio Tokuda, Shin-ichi Shikata DIAMOND AND RELATED MATERIALS 16巻 4-7号 996-999頁 2007/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Surface electronic properties on boron doped (111) CVD homoepitaxial diamond films after oxidation treatments Sung-Gi Ri, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda, Yuichi Yamazaki, Satoshi Yamasaki and Hideyo Okushi 16巻 4-7号 831-835頁 2007/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Electrochemical grafting of boron-doped single-crystalline CVD-Diamond with nitrophenyl molecules Hiroshi Uetsuka, Dongchan Shin, Norio Tokuda, Kazuhiko Saeki, and Nebel Erwin Christoph LANGMUIR 23巻 6号 3466-3472頁 2007/03 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Leakage current analysis of diamond Schottky barrier diode Hitoshi Umezawa, Takeyasu Saito, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Sung-Gi Ri, Hiromichi Yoshikawa, Shin-ich Shikata APPLIED PHYSICS LETTERS 90巻 073506頁 2007/02 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Characterization of leakage current on diamond Schottky barrier diodes using thermionic-field emission modeling Hitoshi Umezawa, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Sung-Gi Ri and Shin-ichi Shikata DIAMOND AND RELATED MATERIALS 15巻 11-12号 1949-1953頁 2006/11 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Energetics of dopant atoms in subsurface positions of diamond semiconductor Takehide Miyazaki, Hiromitsu Kato, Sung-Gi Ri, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, and Satoshi Yamasaki SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES 40巻 4-6号 574-579頁 2006/10 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Photo-and electrochemical bonding of DNA to single crystalline CVD diamond D. Shin, B. Rezek, N. Tokuda, D. Takeuchi, H. Watanabe, T. Nakamura, T. Yamamoto, and C. E. Nebel PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 203巻 13号 3245-3272頁 2006/10 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • High-efficiency Excitonic Emission with Deep-ultraviolet Light from (001)-oriented Diamond p-i-n Junction Toshiharu Makino, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Hideyuki Watanabe, Sung-Gi Ri, Satoshi Yamasaki, Hideyo Okushi JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 45巻 39号 L1042-L1044頁 2006/10 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Periodically arranged benzene-linker molecules on boron-doped single-crystalline diamond films for DNA sensing Dongchan Shin, Norio Tokuda, Bohuslav Rezek, Christoph E. Nebel ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS 8巻 5号 844-850頁 2006/05 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Surface conductive layers on (111) diamonds after oxygen treatments Sung-Gi Ri, Christoph E. Nebel, Daisuke Takeuchi, Bohuslav Rezek, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki and Hideyo Okushi DIAMOND AND RELATED MATERIALS 15巻 4-8号 692-697頁 2006/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Utilization of Si atomic steps for Cu nanowire fabrication Ryu Hasunuma, Takanobu Yada, Junichi Okamoto, Daisuke Hojo, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe Science and Technology of Advanced Materials 6巻 667-670頁 2005/09 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Nonuniformity in Ultrathin SiO2 on Si(111) Characterized by Conductive Atomic Force Microscopy Ryu Hasunuma, Junichi Okamoto, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 43巻 11B号 7861-7865頁 2004/11 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Effect of SiO2 Fence on Atomic Step Flow in Chemical Etching of Si Surface Daisuke Hojo, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 42巻 5B号 L561-L563頁 2003/05 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Topography Change Due to Multilayer Oxidation at SiO2/Si(111) Interfaces Daisuke Hojo, Hitoshi Oeda, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 42巻 4B号 1903-1906頁 2003/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Leakage current distribution in ultrathin oxide on silicone surface with step/terrace structures Masahide Murata, Norio Tokuda, Daisuke Hojo and Kikuo Yamabe THIN SOLID FILMS 414巻 1号 56-62頁 2002/07 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Atomic Topography Change of SiO2/Si Interfaces during Thermal Oxidation Daisuke Hojo, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 41巻 5A号 L505-L508頁 2002/05 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Growth of atomically step-free surface on diamond {111} mesas DIAMOND AND RELATED MATERIALS 19巻 4号 288-290頁 2010/04 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • 原子的平坦面を有するダイヤモンド(111)膜の成長 徳田規夫、松本翼、猪熊孝夫、梅沢仁、小倉政彦、加藤宙光、牧野俊晴、竹内大輔、大串秀世、寺地徳之、山部紀久夫、有屋田修、山崎聡 NEW DIAMOND 32巻 9頁 2016 査読無 ③解説 研究論文(学術雑誌)
  • 原子的に制御されたダイヤモンド表面の創出 徳田規夫, 山崎聡, 猪熊孝夫 精密工学会誌 80巻 433頁 2014 査読無 ③解説 研究論文(学術雑誌)
  • Influence of substrate misorientation on the surface morphology of homoepitaxial diamond (111) films Tokuda, N. , Ogura, M., Matsumoto, T., Yamasaki, S., Inokuma, T. Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science 213巻 2051頁 2016 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Inversion channel diamond metaloxide-semiconductor field-effect transistor with normally off characteristics Matsumoto, T. , Kato, H., Oyama, K., Makino, T., Ogura, M., Takeuchi, D., Inokuma,T., Tokuda, N, Yamasaki, S. Scientific Reports 6巻 31585頁 2016 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Atomically flat diamond (100) surface formation by anisotropic etching of solid-solution reaction of carbon into nickel Kazuhiro Nakanishi, Hiroki Kuroshima, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda Diamond Relat. Mater.  68巻 127頁 2016 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • H-terminated diamond field effect transistor with ferroelectric gate insulator Ryota Karaya, Hiroki Furuichi, Takashi Nakajima, Norio Tokuda, Takeshi Kawae Appl. Phys. Lett. 108巻 242101頁 2016 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Time-resolved cyclotron resonance on dislocation-free HPHT diamond I. Akimoto, N. Naka, N. Tokuda Diamond Relat. Mater. 63巻 38頁 2016 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Perfect selective alignment of nitrogen-vacancy centers in diamond Takahiro Fukui, Yuki Doi, Takehide Miyazaki, Yoshiyuki Miyamoto, Hiromitsu Kato, Tsubasa Matsumoto, Toshiharu Makino, Satoshi Yamasaki, Ryusuke Morimoto, Norio Tokuda, Mutsuko Hatano, Yuki Sakagawa, Hiroki Morishita, Toshiyuki Tashima, Shinji Miwa, Yoshishige Suzuki and Norikazu Mizuochi Appl. Phys. Express 7巻 055201頁 2014 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Density functional studies of surface potentials for hydrogen and oxygen atoms on diamond (111) surfaces Samar Moustafa, Norio Tokuda, and Takao Inokuma Jpn. J. Appl. Phys. 53巻 02BD01頁 2014 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Reduction of n-type diamond contact resistance by graphite electrode Tsubasa Matsumoto, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Phys. Stat. Sol. RRL 8巻 137頁 2014 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Anisotropic lateral growth of homoepitaxial diamond (111) films by plasma-enhanced chemical vapor deposition Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Satoshi Yamsaki, and Takao Inokuma Jpn. J. Appl. Phys.  53巻 04EH04頁 2014 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Formation of Graphene-on-Diamond Structure by Graphitization of Atomically Flat Diamond (111) Surface Norio Tokuda, Makoto Fukui, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamsaki, and Takao Inokuma Jpn. J. Appl. Phys. 2013 査読有 ①原著論文
  • Fractional Surface Termination of Diamond by Electrochemical Oxidation René Hoffmann, Harald Obloh, Norio Tokuda, Nianjun Yang, Christoph E. Nebel Langmuir 28巻 47頁 2012 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Isotope Effect of Deuterium Microwave Plasmas on the Formation of Atomically Flat (111) Diamond Surfaces Norikazu Mizuochi, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, and Satoshi Yamasaki J. Appl. Phys. 51巻 090106頁 2012 査読有 研究論文(学術雑誌)
  • Fabrication of (Bi,Pr)(Fe,Mn)O 3 thin films on polycrystalline diamond substrates by chemical solution deposition and their properties Takeshi Kawae, Hiroki Kawasaki, Takashi Nakajima, Norio Tokuda, Soichiro Okamura, Akiharu Morimoto, and Yoshihiko Takano Jpn. J. Appl. Phys. 51巻 09LA08頁 2012 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • The creation of a biomimetic interface between boron-doped diamond and immobilized proteins René Hoffmann, Armin Kriele, Harald Obloh, Norio Tokuda, Waldemar Smirnov, Nianjun Yang, Christoph E. Nebel Biomaterials 32巻 7325頁 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Electron emission from CVD diamond p–i–n junctions with negative electron affinity during room temperature operation D. Takeuchi, T. Makino, H. Kato, M. Ogura, N. Tokuda, K. Oyama, T. Matsumoto, H. Okushi, and S. Yamasaki Diamond Relat. Mater. 20巻 917頁 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Structure and electrical properties of (Pr, Mn)-codoped BiFeO 3B-doped diamond layered structure Takeshi Kawae, Yuji Hori, Takashi Nakajima, Hiroki Kawasaki, Norio Tokuda, Soichiro Okamura, Yoshiko Takano, and Akiharu Morimoto Electrochem. Solid-State Lett. 14巻 G31頁 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Carrier transport of diamond p+-i-n+ junction diode fabricated using low-resistance hopping p+ and n+ layers Kazuihiro Oyama, Sung-Gi Ri, Hiromitsu Kato, Daisuke Takeuchi, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Phys. Stat. Sol. (a) 208巻 937頁 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Effects of high-temperature annealing on electron spin resonance in SiOx films prepared by R. F. sputtering system A.M.A. Shamekh, N. Tokuda, T. Inokuma J. Non-Cryst. Solids 357巻 981頁 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Annealing Effects on Cathodoluminescence Properties of SiOx Films Deposited by Radio Frequency Sputtering A.M.A. Shamekh, N. Tokuda, T. Inokuma Jpn. J. Appl. Phys. 50巻 01BF04頁 査読有 ①原著論文
  • Diamond Schottky-pn diode without trade-off relationship between on-resistance and blocking voltage Toshiharu Makino, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Kazuhiro Oyama, Satoshi Tanimoto, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Phys. Stat. Sol. (a) 207巻 2105頁 査読有 ①原著論文
  • Improvement of (001)-oriented diamond p-i-n diode by use of selective grown n+ layer Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Kazuhiro Oyama, Daisuke Takeuchi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Phys. Stat. Sol. (a) 207巻 2099頁 査読有 ①原著論文
  • Electron Emission from a Diamond (111) p–i–n+ Junction Diode with Negative Electron Affinity during Room Temperature Operation Daisuke Takeuchi, Toshiharu Makino, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Kazuhiro Oyama, Tsubasa Matsumoto, Izumi Hirabayashi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki Applied Physics Express 3巻 041301頁 2010/03 査読有 ①原著論文 研究論文(学術雑誌)

講演・口頭発表等

  • マイクロ波プラズマCVD 法によるダイヤモンド膜の成長 ~原子レベル制御から高速化、そして自立ウェハの開発へ(会議名:第63回CVD研究会)
  • 革新的パワーデバイスの実現に向けた半導体ダイヤモンドの研究(会議名:第3回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム)(2016/07)

芸術・フィールドワーク

特許

○ダイヤモンド基板及びその製造方法 (公開年月:2015/07/02)
○ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法 (公開年月:2015/06/22)
○半導体装置 (公開年月:2015/06/08)
○ダイヤモンドの製造方法(公開年月:2016/12/22)
○ダイヤモンドの表面処理方法(特許番号:特許第5948578号)
○ダイヤモンド基板(特許番号:特許第5887742号)
○グラフェン・ダイヤモンド積層体(特許番号:特許第5681959号)
○単結晶ダイヤモンド成長用の基材及び単結晶ダイヤモンドの製造方法(特許番号:特許第5545567号)
○単結晶ダイヤモンド基板(特許番号:特許第5454867号)
○高効率間接遷移型半導体紫外線発光素子(特許番号:特許第5273635号)
○半導体装置(特許番号:特許第5565895号)
○ダイヤモンド薄膜積層体(特許番号:特許第5152836号)
○ダイヤモンド半導体素子(特許番号:特許第5119553号)
○ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法(特許番号:特許第5071815号)
○ダイヤモンド表面上の原子的平坦面の選択的形成方法、そのダイヤモンド基板及びこれを用いた半導体素子(特許番号:4446065)

共同研究希望テーマ

科研費

○若手研究(B)「原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出」(2008-2009) ①代表者
○若手研究(A)「超低損失ダイヤモンドパワーデバイス開発のための基盤研究」(2012-2014) ①代表者

学域・学類担当授業科目

○電気電子工学実験第2(2017)
○自主課題研究(2017)
○地域概論(2017)
○電気電子工学実験第1(2017)
○半導体工学(2017)
○自主課題研究(2016)
○電気電子工学実験第1(2016)
○電気電子工学実験第2(2016)
○半導体工学(2016)
○物理学実験(2015)
○電気電子工学実験第2(2015)
○電気電子工学実験第1(2015)
○自主課題研究(2015)
○半導体工学(2015)
○物理学実験(2014)
○電気電子工学実験第1(2014)
○半導体工学(2014)
○電気電子工学実験第2(2014)

大学院担当授業科目

○表面制御工学(2017)
○表面制御工学(2017)
○表面制御工学(2017)
○表面制御工学(2017)
○表面・界面工学(2017)
○表面・界面工学(2016)
○表面制御工学(2016)
○表面制御工学(2015)
○表面・界面工学(2015)
○表面制御工学(2014)
○表面制御工学(2014)
○ナノ材料工学(2014)
○表面・界面工学(2014)

他大学の客員教授

教育活動(FD)に関する研究

国際事業協力

留学生参加の社会活動

審議会等の参加

○応用物理学会 薄膜・表面物理分科会常任幹事(2012/04/01-2014/03/31)

講演可能なテーマ

その他公的社会活動

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