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研究者情報

データ更新日:2017年09月13日

石島 達夫 (いしじま たつお) 教授 ISHIJIMA Tatsuo

メール 研究室ウェブサイト
研究室ウェブサイト

所属組織・役職等

理工研究域 サステナブルエネルギー研究センター 環境発電技術部門

教育分野

【学士課程】
理工学域 電子情報学類 物理学 II
理工学域 電子情報学類 電気電子コース 熱・統計力学
【大学院前期課程】
自然科学研究科 電子情報科学専攻
【大学院後期課程】
自然科学研究科 電子情報科学専攻 非熱平衡プラズマ工学
自然科学研究科 電子情報科学専攻 プラズマ制御工学

所属研究室等

サステナブルエネルギー研究センター TEL:076-264-6336

学歴

【出身大学院】
筑波大学 博士課程 物理学研究科 物理学専攻 2000 修了
【出身大学】
筑波大学  物理学専攻 1995/03 卒業
【取得学位】
博士(理学)

職歴

名古屋大学 工学研究科 電気工学専攻 助手(2000/04/01-2006/09/30)
名古屋大学 プラズマナノ工学研究センター 助教(2006/10/01-2011/10/31)
金沢大学 理工研究域 サステナブルエネルギー研究センター 准教授(2011/11/01-2016/10/31)
金沢大学 理工研究域 サステナブルエネルギー研究センター 教授(2016/11/01-)

生年月

所属学会

アジア太平洋物理学会 プラズマ物理学部門
電気学会
応用物理学会
プラズマ・核融合学会
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 幹事(2015-2017)

学内委員会委員等

○国際・産学連携委員会 委員(2017-2018)

受賞学術賞

○第15回プラズマエレクトロニクス賞(2017/03/15)

専門分野

プラズマ理工学

専門分野キーワード

プラズマ応用、プラズマ診断、新プラズマ源開発、気液混合プラズマ、重相構造プラズマ、非熱平衡プラズマ、マイクロ波プラズマ、大気圧プラズマ

研究課題

マイクロ波励起液中気泡内プラズマ生成を用いた溶液処理と化学反応性に関する研究

高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明

重相構造プラズマを用いた環境調和型プロセスの開発

著書

論文

  • Optical emission and surface characterization of stainless steel treated by pulsed microwave-atmospheric helium plasma jet. E. A. Fattah, A. Yehia, M. Bazavan, T. Ishijima The European Physical Journal D 71巻 7号 (9pp)頁 2017/07 査読有 研究論文(学術雑誌)
  • Novel design of high voltage pulse source for efficient dielectric barrier discharge generation by using silicon diodes for alternating current Review of Scientific Instruments  88巻 6号 2017/06 査読有 研究論文(学術雑誌)
  • Spatiotemporal distribution of thermal plasma temperature and precursor formation in a torch during TiO₂ nanopowder synthesis. N.Kodama, Y.Tanaka, K.Kita, Y.Ishisaka, Y.Uesugi, T.Ishijima, S.Sueyasu, K.Nakamura Plasma Sources Science and Technology accepted 頁 2017 査読有 研究論文(プロシーディング)
  • Uniform Surface Oxidation of an Si Substrate by a Planar Modulated Inductively Coupled Thermal Plasma with Molecular Gas Feed Plasma Chemistry and Plasma Processing 1頁 2017/03/04 査読有 研究論文(学術雑誌)
  • Spallation occurrence from polyamide materials irradiated by thermal plasma with water absorption Journal of Physics D: Applied Physics Volume 49巻 Number 38号 2016/08/23 査読有 研究論文(学術雑誌)

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  • Rapid Surface Oxidation of the Si Substrate using Longitudinally- Long Ar/O2 Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas IEEE Transactions on Plasma Science  99巻 Volume: PP号 1 - 8頁 2016/09/09 査読有 研究論文(学術雑誌)
  • Numerical Simulation on Dynamics and Thermal Decomposition of Spallation Polymer Particles Flying in Polymer Ablated Arcs T. Nakagawa, T. Nakano, Y. Tanaka, Y. Uesugi, T. Ishijima 電気学会論文誌 B(電力・エネルギー部門誌) 135巻 11号 pp.681-687頁 2015
  • Effective Dissolution of Biomass in Ionic Liquids Irradiation of Non-thermal Atmospheric Pressure Plasma  Australian Journal of Chemistry accept頁 査読有 研究論文(学術雑誌)
  • Computational non-chemically equilibrium model on the current zero simulation in a model N2 circuit breaker under the free recovery condition  Hao Sun, Y. Tanaka, K. Tomita, Yi Wu, Mingzhe Rong, Y. Uesugi, and T. Ishijima J. Phys. D: Appl. Phys. 49巻 055204(17pp.)頁 2015/01/12 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • In-situ UV Absorption Spectroscopy for Observing Dissolved Ozone in Water Journal of Photopolymer Science and Technology 29巻 3号 pp. 427-432頁 査読有
  • Fundamentals of planar-type inductively coupled thermal plasmas on a substrate for large-area material processing Mai Kai Suan Tial, H. Irie, Y. Maruyama, Y. Tanaka, Y. Uesugi, T. Ishijima Japanese Journal of Applied Physics 55巻 7S2号 07LB03(7pp.)頁 2016
  • The LTE Thermofluid Simulation of Ar/SF6 Gas-Blast Arcs in a Nozzle Space in an Arc Device  電気学会論文誌B (電力・エネルギー部門誌)  136巻 9号 pp.741-748頁 2016/09/01
  • Influence of the gas flow rate on the nonchemical equilibrium N2 arc behavior in a model nozzle circuit breaker Journal of Physics D: Applied Physics 査読有
  • Spallation occurrence from polyamide materials irradiated by thermal plasma with water absorption 査読有
  • Characterization of surface dielectric barrier discharge influenced by intermediate frequency for ozone production Plasma Sources Sci. and Technol. 25巻 035012頁 2016 研究論文(学術雑誌)
  • The LTE Thermofluid Simulation of Ar/SF6 Gas-Blast Arcs in a Nozzle Space in an Arc Device  K. Murai, T. Nakano, Y. Tanaka, Y. Uesugi, T. Ishijima, K. Tomita, K. Suzuki, T. Iijima, T. Shinkai  IEEJ Transations on Power and Energy 136巻 9号 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Characterization of surface dielectric barrier discharge influenced by intermediate frequency for ozone production Ayman Abdelaziz, Tatsuo Ishijima, Takafumi Seto, Naoki Osawa, Hassan Wedaa, Yoshio Otani  Plasma Sources Science and Technology 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Experimental investigation of magnetic arc blow in plasma arc cutting WELDING IN THE WORLD 59巻 1号 pp.45-51頁 2015/01/01 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Application of a Non-thermal Atmospheric Pressure Plasma Jet to the Decomposition of Salicylic Acid to Inorganic Carbon K. Kuroda, T. Ishijima, T. Kaga, K. Shimomura, K. Ninomiya, K. Takahashi Chemistry Letters 44巻 11号 pp.1473-1475頁 2015/11/01 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Suppression of hydrogenated carbon film deposition and hydrogen isotope retention by nitrogen addition into cold remote H/D and CH4 mixture plasmas J. Nucl. Mater. 463巻 pp.693-696頁 2015/08 査読有 研究論文(学術雑誌) 
  • Influence of applied voltage waveforms on the performance of Surface Dielectric Barrier Discharge reactor for decomposition of naphthalene Journal of Physics D: Applied Physics 49巻 18号 195201頁 2015/04 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • A simple technique to improve contractile effect of cold plasma jet on acute mouse wound by dropping water  Plasma Processes and Polymers 12巻 10号 pp.1128-1138頁 2015/10 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • 双方向性トリガーダイオードを用い生成した低気圧円筒形誘電体バリア放電動作特性解析 平良優介, 上杉喜彦, 田中康規, 石島達夫  電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌) 135巻 3号 pp.182-188頁 2015/03/01 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Study of the decomposition mechanism of PMMA-type polymers by hydrogen radicals Thin Solid Films 575巻 pp.12-16頁 2015/01/30 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Two-dimensional spectroscopic observation of a pulse-modulated induction thermal plasma torch for nanopowder synthesis  J. Phys.: Conf. Ser. 550巻 1号 012026頁 2014/12 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Cold plasma on full-thickness cutaneous wound accelerates healing through promoting inflammation, re-epithelialization and wound contraction Clinical Plasma Medicine 2巻 1号 28-35頁 2014/07 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • A method for large-scale synthesis of Al-doped TiO2 nanopowder using pulse-modulated induction thermal plasmas with time-controlled feedstock feeding JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 47巻 19号 195304頁 2014/04 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Evaluation of extra- and intracellular OH radical generation, cancer cell injury, and apoptosis induced by a non-thermal atmospheric-pressure plasma jet JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 46巻 42号 425401頁 2013/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • A high-speed photoresist removal process using multibubble microwave plasma under a mixture of multiphase plasma environment APPLIED PHYSICS LETTERS 103巻 14号 142101頁 2013/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • プラズマ切断における磁気吹き現象の実験的考察 山口義博, 片田優介, 伊藤毅, 上杉喜彦, 田中康規, 石島達夫 溶接学会論文集 31巻 3号 193-200頁 2013/08 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Enhancement of Non-Equilibrium Atmospheric Pressure He Plasma Discharges by Using Silicon Diode for Alternating Current 住石裕次郎, 上杉喜彦, 田中康規, 石島達夫 Journal of Physics: Conference Series 441巻 012018頁 2013/06 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Prompt response and durability of polymer ablation from synthetic fibers irradiated by thermal plasmas for arc resistant clothes 石田昌弘, 新清直樹, 田中康規, 上杉喜彦, 石島達夫, 見尾渡, 羽木裕康, 内堀恵太 Journal of Physics: Conference Series 441巻 012037頁 2013/06 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Temperature Behavior in a Tandem Type of Modulated Induction Thermal Plasma for Materials Processings 倉石克弥, 赤尾美香, 田中康規, 上杉喜彦, 石島達夫 Journal of Physics: Conference Series 441巻 012016頁 2013/06 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Time Evolution in Radiation Intensities of C2 and H Spectra in Ar/CH4/H2 Modulated Induction Thermal Plasmas for Diamond Film Deposition 春多洋佑, 藤本健太, 堀田宗佑, 田中康規, 上杉喜彦, 石島達夫 Journal of Physics: Conference Series 441巻 012017頁 2013/06 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Removal of carbon deposited film and hydrogen retention control by low temperature H-C-N reactive plasmas 佐々木彩,  高井裕一郎, 上杉喜彦, 田中康規, 石島達夫, 増崎 貢 JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS 438巻 S1092-S1095頁 2013/01 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • A large amount synthesis of nanopowder using modulated induction thermal plasmas synchronized with intermittent feeding of raw materials Journal of Physics: Conference Series 406巻 012001頁 2012/11 査読有 研究論文(学術雑誌) 
  • Rapid Plasma Treatment of Polyimide for Adhesive and Durable Copper Film Deposition Thin solid films 521巻 22–26頁 2012/10 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Refractory Organic Solute Decomposition in Water using Microwave Plasma Transactions of the Materials Research Society of Japan 36巻 475-478頁 2011/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Influence of temperature and pressure on solute decomposition efficiency by microwave-excited plasma Current Applied Physics 11巻 S195-198頁 2011/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Design of Large-Area Surface Wave Plasma Excited by Slotted Waveguide Antennas with Novel Power Divider Japanese Journal of Applied Physics 50巻 036002頁 2011/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Wave propagation and non-collisional heating in neutral loop and helicon discharges Physics of Plasmas 18巻 022107頁 2011/02 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Effect of O- Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB-MgO Magnetic Tunnel Junctions Japanese Jounal of Applied Physics 50巻 023001頁 2011/02 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Spatial Profile Measurement of SiH3 Absolute Density in SiH4/H2 Microwave Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry T. Kuroda, M. Ikeda, T. Ishijima, H. Toyoda Japanese Journal of Applied Physics 50巻 08BJB05頁 2011/02 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Novel Antenna Coupler Design for Production of Meter-Scale High-Density Planar Surface Wave Plasma  Japanese Journal of Applied Physics 49巻 086002頁 2010/08 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Spatial Variation of Negative Oxygen Ion Energy Distribution in RF Magnetron Plasma with Oxide Target  石島達夫、ほか4名 Japanese Journal of Applied Physics 48巻 116004頁 2009/11 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Fine Structure of O- Kinetic Energy Distribution in RF Plasma and its Formation Mechanism  Applied Physics Express 2巻 126001頁 2009/11 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Efficient Production of Microwave Bubble Plasma in Water for Plasma Processing in Liquid  Plasma Sources Science and Technology 19巻 015010頁 2009/11 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Fabrication of Carbon Nanotubes by Slot-Excited Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition  Japanese Journal of Applied Physics  47巻 pp.5652-5655頁 2008/11 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Surface Modification of Fluorocarbon Polymer Film by High Density Microwave Plasma  Transactions of Materials Research Society Japan 33巻 pp.683-686頁 2008/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌) 
  • Control of Electron Temperature by Inert Gas Selection in Inductive RF Discharge  Transworld Research Network Industrial Application of Plasma Process 1巻 pp.1-15頁 2008/05 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • A Water Splitting Model of Coulomb Interactions of Its Dipole with Surface Defects of Hydrogen Implanted Perovskite Oxide  Solid State Ionics 179巻 pp.793-796頁 2008/02 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Multibubble Plasma Production and Solvent Decomposition in Water by Slot-excited Microwave Discharge  APPLIED PHYSICS LETTERS 91巻 121501頁 2007/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Role of Atomic Nitrogen during GaN Growth by Plasma-Assisted MBE Revealed by Appearance Mass Spectrometry J. Osaka, M. Senthil Kumar, H. Toyoda, T. Ishijima, H. Sugai, T. Mizutani Applied Physics Letters 90巻 172114頁 2007/04 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Properties of Large-area Surface Wave Plasma  Acta Physica Sinica 55巻 pp.5905-5908頁 2006/11 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Temperature Dependence of the D-H Replacement Rates in D-implanted Oxide Ceramics Exposed to H2O Vapor  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIO 258巻 pp.282-286頁 2006/12 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • High Radiation and High Density Experiments in JT-60U  Nuclear Fusion 41巻 pp.227-233頁 2001/02 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Impurity Behavior in High Performance Radiative Discharges of JT-60U  Journal of Nuclear Materials 290巻 pp.1002-1008頁 2001/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Tomographic Reconstruction of Bolometry for JT-60U Diverted Tokamak Characterization  S. Konoshima, A.W. Leonard, T. Ishijima, K. Shimizu, I. Kamata, W. H. Meyer, S. Sakurai, H. Kubo, N. Hosogane, H. Tamai Plasma Physics Controlled Fusion 43巻 pp.959-983頁 2001/05 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Radiation and Spectroscopy Analysis of Divertor Discharges with Neon Gas Puff in JT-60U  T. Ishijima, H. Kubo, M. Shimada, S. Konoshima, S. Higashijima, N Hosogane, A Sakasai, K Itami, T Sugie, JT-60 team Plasma Physics Controlled Fusion 41巻 pp.1155-1166頁 1999/09 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Carbon Impurity Behavior in W-shaped Pumped Divertor of JT-60U  S. Higashijima, H. Kubo, T. Sugie, K. Shimizu, A. Kumagai, A. Sakasai, N. Asakura, S. Sakurai, N. Hosogane, S. Konoshima, H. Tamai, T. Ishijima, H. Takenaga, K. Itami, M. Shimada Jourbal of nuclear Materials 266-269巻 pp.1078-1083頁 1999/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Operational Performance of JT-60U W-shaped Divertor  Journal of Nuclear Materials 266-269巻 pp.296-301頁 1999/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Role of Divertor Geometry on Detachment and Core Plasma Performance in JT60U  N. Asakura, N. Hosogane, K. Itami, A. Sakasai, S. Sakurai, K. Shimizu, M. Shimada, H. Kubo, S. Higashijma, H. Takenaga, H. Tamai, S. Konoshima, T. Sugie, K. Masaki, Y. Koide, O. Naito, H. Shirai, T. Takizuka, T. Ishijima, S. Suzuki, A. Kumagai, JT-60 Team JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS 266-269巻 pp.182-188頁 1999/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Two Dimensional Imaging X-ray Spectrometer for Plasma Diagnostics  T. Aota, N. Yamaguchi, M. Yoshikawa, K. Ikeda, T. Ishijima, Y. Okamoto, A. Mase, T. Tamano FUSION ENGINEERING AND DESIGN 34-35巻 pp.189-191頁 1997/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Rotation of Cylindrical Plasmas in the Gamma10 Tandem Mirror  K. Ikeda, Y. Nagayama, T. Aota, M. Ichimura, K. Ishii, T. Ishijima, Y. Kiwamoto, A. Mase, T. Saito, T. Tamano, T. Tokuzawa, N. Yamaguchi, M. Yoshikawa PHYSICAL REVIEW LETTERS 78巻 pp.3872-3875頁 1997/05 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Measurement of Plasma Rotation in a Tandem Mirror  K. Ikeda, Y. Nagayama, N. Yamaguchi, M. Yoshikawa, T. Aota, T. Ishijima, Y. Okamoto, K. Ishii, A. Mase, T. Tamano FUSION ENGINEERING AND DESIGN 34-35巻 pp.257-260頁 1997/03 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)
  • Behavior of Neutral-hydrogen and Particle Confinement on GAMMA 10 Tandem Mirror Plasmas  JOURNAL OF NUCLEAR MARERIALS 241-243巻 pp.1011-1015頁 1997/02 査読有 原著論文 研究論文(学術雑誌)

講演・口頭発表等

  • マイクロ波励起大気圧プラズマジェットを用いた新規製膜手法の開発(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/06)
  • パルス変調型誘導熱プラズマおよび原料粉体の同期間歇供給を用いたAl-doped TiO2 ナノ粒子の大量生成法の開発(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/06)
  • マイクロ波励起大気圧プラズマを用いたZnO薄膜堆積法の検討(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/07)
  • Ar+H2 誘導熱プラズマにおける二次元放射強度分布の測定(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/05)
  • Ar誘導熱プラズマへのTi原料投入時におけるトーチ内のTi励起温度およびTi蒸気混入率の二次元分布の推定(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/05)

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  • 低周波大気圧プラズマジェットにより生成した液中活性種・化学種 における放電周波数の影響(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/07)
  • ミニマル水プラズマアッシングプロセスを用いたpMOSFETの試作(会議名:第78回応用物理学会秋季学術講演会)(2017/09/06)
  • 誘導熱プラズマの変調-無変調運転を併用した多結晶ダイヤモンド膜生成の検討(会議名:プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会)(2017/05/13)
  • Ar誘導熱プラズマへのTi原料投入時における熱プラズマトーチ内の導電率の二次元分布推定(会議名:プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会)(2017/05/13)
  • 非平衡プラズマを用いた旋回気流内における粉粒体食品の殺菌および品質に対する影響の検討(会議名:プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会)(2017/05/14)
  • ループ型Ar/O2誘導熱プラズマを用いたSi/SiC基板に対する高速酸化試験(会議名:プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会)(2017/05/15)
  • 数値シミュレーションによるAr誘導熱プラズマ中のTi蒸発に及ぼすO2の影響(会議名:プラズマ研究会)(2017/08/12)
  • 原料間歇供給/変調型誘導熱プラズマ併用法を用いたSi/Cナノ粒子の一段的大量生成の試み(会議名:プラズマ研究会 )(2017/08/12)
  • Two-dimensional distribution of Ti vapor admixture ratio and Ti atomic density in the Ar ICTP torch during Ti feedstock injection(会議名:ISPC23)(2017/08/04)
  • Diamond Film Deposition/Growth by Irradiation of Ar/CH4/H2 Modulated and Non-Modulated Induction Thermal Plasma(会議名:ISPC23)(2017/08/04)
  • Large Amount Synthesis of Si Nanopowder/Nanowires using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas(会議名:ISPC23)(2017/08/04)
  • Influence of Gas Flow Rate on 2D Rapid Oxidation of Si Surface using Ar/O2 Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas(会議名:ISPC23)(2017/08/04)
  • 水蒸気雰囲気下のマイクロ波励起プラズマによるレジスト除去メカニズムの検討(会議名:第34回フォトポリマーコンファレンス)(2017/06)
  • Ar誘導熱プラズマへのTi原料投入時におけるトーチ内のTi励起温度分布およびTi蒸気混入率の二次元分布の推定(会議名:第64回応用物理学会春季学術講演会)(2017/03/15)
  • パルス変調型誘導熱プラズマを用いたSi ナノ粒子の大量生成時における原料供給タイミングの光学的検討(会議名:第64回応用物理学会春季学術講演会)(2017/03/16)
  • 異なる化学構造を有するポリマー膜に対する水プラズマアッシングプロセスの分光学的検討(会議名:第64回応用物理学会春季学術講演会)(2017/03/17)
  • ミニマル装置化に向けた水プラズマアッシング技術の開発(会議名:第64回応用物理学会春季学術講演会)(2017/03/16)
  • Effect of N2 admixture ratio on atmospheric pressure He-N2 DBD(会議名:IS-Plasma 2017)(2017/03/02)
  • Development of microwave plasma ashing process using ultrapure water as source gas to apply minimal fabrication system(会議名:IS-Plasma 2017)(2017/03/03)
  • マイクロ波励起大気圧プラズマ支援による薄膜堆積法の検討(会議名:H29 電気学会 全国大会)(2017/03/16)
  • 旋回気流環境下における粉粒体食品の非熱平衡プラズマによる殺菌効果の基礎検討(会議名:H29 電気学会 全国大会)(2017/03/17)
  • Study of nitrogen scavenger effects on hydrogenated carbon film deposition and hydrogen isotope absorption in the temote fusion plasmas(会議名:22nd International Conference on Plasma Surface Interactions in Controlled Fusion Devices)
  • Development of microwave excited bubble plasma in water at low microwave power injection (会議名:Sixteenth International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BMMP-16))(2016/01/24)
  • Silicon nanoparticles synthesized by pulse-modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding(会議名:8th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /9th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2016/IC-PLANTS2016))(2016/03/10)
  • High rate synthesis of Si/SiOx nanoarticles/nanowires using modulated induction thermal plasmas with controlled feedstock feeding(会議名:14th High-Tech Plasma Processes (HTPP14))(2016/07/05)
  • 2-D temperature estimation in Ar-O2 induction thermal plasmas for TiO2 nanopowder synthesis(会議名:14th High-Tech Plasma Processes (HTPP14))(2016/07/05)
  • Development of various types of induction thermal plasma source and their applications to materials processings(会議名:The 18th International Congress on Plasma Physics (ICPP 2016))
  • Estimation on two-dimensional distribution of Ti excitation temperature during Ti feedstock injection into Ar induction thermal plasma torch(会議名:The 18th International Congress on Plasma Physics (ICPP 2016))(2016/06/29)
  • レーザー誘起ブレイクダウン分光法による堆積膜組成のその場分析(会議名:第11回核融合エネルギー連合講演会)
  • Experimental Investigation of the Plasma Jet Intercation with Conducting and Dielectric Material(会議名:ISPlasma2016/IC-PLANTS2016)(2016/03/08)
  • Silicon nanoparticles synthesized by pulse-modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding(会議名:ISPlasma2016/IC-PLANTS2016)(2016/03/10)
  • 基板近傍からCH4/H2ガスを導入したAr誘導熱プラズマによる単結晶ダイヤモンド膜成長試験(会議名:平成28年 電気学会 プラズマ・パルスパワー・放電 合同研究会)(2016/05/27)
  • Si基板スライド機構を用いたループ型Ar/O2誘導熱プラズマ照射による2次元高速酸化試験(会議名:平成28年 電気学会 プラズマ・パルスパワー・放電 合同研究会)(2016/05/27)
  • 軸方向磁場印加時におけるアーク-陰極溶融池の挙動観測(会議名:平成28年 電気学会 プラズマ・パルスパワー・放電 合同研究会)(2016/05/27)
  • アーク陰極点における外部磁場印加時のアークプラズマ陰極溶融池の動的挙動(会議名:平成27年度電気学会北陸支部連合大会)(2015/09/12)
  • Spectroscopic Observation on the Radiation Intensity from a Planar Type of Inductively Coupled Thermal Plasma on Si3N4 Substrate(会議名:平成27年度電気学会北陸支部連合大会)(2015/09/12)
  • 変調誘導熱プラズマを用いた原料粉体の同期間歇供給によるSiナノ粒子の大量生成試験(会議名:平成27年度電気学会北陸支部連合大会)(2015/09/12)
  • ポリエチレン粒子を投入した誘導熱プラズマの温度場・流速場解析(会議名:平成27年度電気学会北陸支部連合大会)(2015/09/12)
  • 水を原料とするマイクロ波励起プラズマの生成電力低減化法の開発(会議名:2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会)(2015/09/12)
  • Effect of Dielectric Barrier Discharge on Spore Common in Buckwheat Powder(会議名:2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会)(2015/09/16)
  • O 原子, Ti 原子およびTiO 二次元放射強度分布の時間変化- 原料間歇導入を伴う熱プラズマを用いたTiO2 ナノ粒子生成 -(会議名:2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会)(2015/09/16)
  • 連続槽型マイクロ波バブルプラズマによるサリチル酸の大容量分解(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • Development of the chemically non-equilibrium model by FLUENT in the calculation of the decaying arc in the circuit breaker(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • アーク陰極点における外部磁場印加時のアークプラズマ―陰極溶融池の動的挙動Ⅱ(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • アーク陰極点における外部磁場印加時のアークプラズマ―陰極溶融池の動的挙動Ⅰ(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • ナノ粒子生成用誘導熱プラズマ温度場への冷却ガス導入効果の数値解析的検討(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • ループ型Ar誘導熱プラズマの局所熱平衡解析(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • 重水素/炭素混合プラズマへの窒素添加による炭素膜成長と重水素吸蔵の抑制(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/18)
  • ポリエチレン粒子を投入した誘導熱プラズマ内温度場・ポリマー蒸気分布の電磁熱流体解析(会議名:電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会)(2015/10/23)
  • 双方向性トリガーダイオードを用い生成した低気圧・大気圧誘電体バリア放電特性の比較(会議名:電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会)(2015/10/23)
  • 原料粉体の間歇供給を伴う変調誘導熱プラズマによるSiナノ粒子の大量生成(会議名:電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会)(2015/10/23)
  • ループ型Ar/O2誘導熱プラズマを用いたSi基板表面の長尺一様酸化試験(会議名:電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会)(2015/10/23)
  • TiO2ナノ粒子生成中のICTPトーチ内におけるTi 励起温度二次元分布(会議名:第63回応用物理学会春季学術講演会)(2016/03/22)
  • 低温水素/ 炭素混合プラズマへの窒素添加による堆積膜成長および水素同位体吸蔵の抑制(会議名:プラズマ・核融合学会第32回年会)
  • 外部磁場印加時のアークプラズマ陰極溶融池の動的挙動(会議名:プラズマ・核融合学会第32回年会)(2015/11/27)
  • レーザー誘起ブレイクダウン分光法(LIBS)を用いた水素化炭素堆積膜の組成および水素同位体吸蔵量の評価(会議名:プラズマ・核融合学会第32回年会)(2015/11/24)
  • ポリアミド6溶発によるホットガス冷却効果の数値解析的検討(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • 大電流アークプラズマにおける溶融アーク陰極点に対する軸対称磁場の効果(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • 乱流k-εモデルを用いたSF6およびCO2ガス吹付けアークの電磁熱流体解析(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • 耐アーク防護服用布材の耐アーク性能への光吸収・反射添加剤混入の影響(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • ループ型Ar/N2/H2誘導熱プラズマの基板上H励起温度分布(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • パルス変調マイクロ波大気圧非熱平衡プラズマジェットによるレジスト膜除去速度のHe/O2ガス混合量依存性(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • パルス変調誘導熱プラズマを用いたSi ナノ粒子生成におけるSi原料の間歇供給の効果(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • ループ型Ar/O2誘導熱プラズマによるSi基板表面の長尺一様酸化の圧力依存性(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • IGBT-IGを用いた電圧印加による減衰SF6吹付けアークの再発弧様相の高速ビデオカメラ観測(会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • 耐アーク防護服用の溶発性繊維に対する紫外線照射時の影響の基礎的検討 (会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • ポリエチレン粉体投入時における大電力誘導熱プラズマの分光観測 (会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/18)
  • マイクロ波励起液中気泡内プラズマにおける気液界面反応の基礎検討 (会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/17)
  • 超純水中の大腸菌に対する低周波大気圧非平衡プラズマジェット照射効果の検討 (会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • 非平衡大気圧プラズマ処理による粉粒体食品への減菌効果と食品への影響調査 (会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • パルス変調マイクロ波大気圧非熱平衡プラズマジェットによるレジスト膜除去速度のHe/O2ガス混合量依存性 (会議名:平成28年電気学会全国大会)(2016/03/16)
  • Rate of O3 production in DBD chamber and its effect on spore surface modification (会議名:第63回応用物理学会春季学術講演会)(2016/03/21)
  • マイクロ波励起水中気泡内プラズマのパルス変調効果(会議名:第63回応用物理学会春季学術講演会)(2016/03/21)
  • 水を原料ガスとするプラズマを用いたミニマルファブ用アッシング装置の開発(会議名:第63回応用物理学会春季学術講演会)(2016/03/19)
  • Two-Dimensional Spectroscopic Observation from Ar/H2 Modulated Induction Thermal Plasma for Si Nanopowder Synthesis (会議名:第9回プラズマ技術の基礎と応用に関するアジア太平洋国際シンポジウム, 第28回プラズマ材料科学シンポジウム)(2015/12/12)
  • Silicon nanoparticle synthesis using pulse-modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding (会議名:第9回プラズマ技術の基礎と応用に関するアジア太平洋国際シンポジウム, 第28回プラズマ材料科学シンポジウム)(2015/12/12)
  • Rapid Surface Oxidation of the Si Substrate using Laterally-Long Ar/O2 Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas (会議名:第9回プラズマ技術の基礎と応用に関するアジア太平洋国際シンポジウム, 第28回プラズマ材料科学シンポジウム)(2015/12/12)
  • Production of microwave excited bubble plasma in water at low microwave power injection(会議名:25th Annual Meeting of MRS-Japan 2015)(2015/12/08)
  • Evaluation on Current Interruption Ability of CO2 and SF6 using Current and Voltage Application Highly Controlled by Power Semiconductors" (会議名:The 3rd International Conference on Electric Power Equipment - Switching Technology 2015 (ICEPE 2015))(2015/10/28)
  • The LTE Simulation on Decaying Arc Plasmas in Various Arc Quenching Gases in a Model Circuit Breaker (会議名:The 3rd International Conference on Electric Power Equipment - Switching Technology 2015 (ICEPE 2015))(2015/10/25)
  • Chemically Non-equilibrium Model of Decaying N2 Arcs in a Model Circuit Breaker (会議名:The 3rd International Conference on Electric Power Equipment - Switching Technology 2015 (ICEPE 201)(2015/10/26)
  • Influence of quenching gas injection on the temperature field in pulse-modulated induction thermal plasma for large scale nanopowder synthesis(会議名:ICRP-9/GEC-68/SPP-33)(2015/10/15)
  • Initial Condition Dependence of Dynamics and Evaporation of Polymer Spallation Particles Flying in Polymer Ablated Arcs (会議名:The 3rd International Conference on Electric Power Equipment - Switching Technology 2015 (ICEPE 201)(2015/10/26)
  • Development of High-speed and Environmentally Friendly Photoresist Removal Process using Pulsed Microwave Plasma in Water Vapor(会議名:ICRP-9/GEC-68/SPP-33)(2015/10/14)
  • Disinfection effect of non-thermal atmospheric pressure plasma on foodborne bacteria(会議名:ICRP-9/GEC-68/SPP-33)(2015/10/14)
  • Investigation on evaporation of Ti feedstock and formation of precursor TiO molecules during TiO2 nanopowder synthesis in induction thermal plasma with time-controlled feedstock injection(会議名:ICRP-9/GEC-68/SPP-33)(2015/10/13)
  • Fundamental of a Planar Type of Inductively Coupled Thermal Plasma (ICTP) on a Substrate for a Large-area Materials Processings (会議名:ICRP-9/GEC-68/SPP-33)(2015/10/13)
  • マイクロ波励起水中気泡内プラズマの放電開始電力低減化に関する検討(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/18)
  • 粉粒体食品に対する非平衡大気圧プラズマの減菌効果(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/18)
  • 大気圧非熱平衡Heプラズマジェットと液体との反応系におけるO2,N2混合率依存性 -気相・液相診断(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)
  • Development of a loop-type of inductively coupled thermal plasma with molecular gas injection for large-area uniform materials processing (会議名:22nd International Symposium on Plasma Chemistry(ISPC2015))(2015/07/10)
  • Spectroscopic study on evaporation of Ti feedstock intermittently supplied and formation of precursor TiO in TiO2 nanopowder synthesis in the induction thermal plasma torch(会議名:22nd International Symposium on Plasma Chemistry(ISPC2015))(2015/07/10)
  • Development of high speed photoresist ashing process using microwave excited bubble plasma in water (会議名:国際フォトポリマーコンファレンス)(2015/06/26)
  • Investigation of O2 admixture ratio dependence on OH radical generation in liquid using low frequency atmospheric pressure plasma jet with atmosphere- controllable chamber(会議名:3rd INTERNATIONAL WORKSHOP ON SOLUTION PLASMA AND MOLECULAR TECHNOLOGIES (SPM-3))(2015/05/07)
  • Controlling the Effect of Cold Plasma Treatment on Mouse Skin Wound by Modifying Its Surface Using Water(会議名:7th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2015/IC-PLANTS2015))(2015/03/30)
  • Gas Species Influence on OH Radical Generation in Liquid using Low Frequency Atmospheric Pressure Plasma Jet(会議名:7th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2015/IC-PLANTS2015))(2015/03/30)
  • Influence of Applied Voltage Waveforms in Surface Dielectric Barrier Discharge on the Decomposition of Naphthalene(会議名:7th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2015/IC-PLANTS2015))(2015/03/28)
  • Feedstock evaporation and precursor formation in TiO2 nanoparticle synthesis processes in pulse-modulated induction thermal plasmas torch.(会議名:7th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2015/IC-PLANTS2015))(2015/03/27)
  • Uniform Formation of Thermal Plasmas using a Loop-type of Ar Inductively Thermal Plasma on a Substrate(会議名:7th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2015/IC-PLANTS2015))(2015/03/27)
  • Chemical Non-Equilibrium Modelling of Induction Thermal Plasmas with CH4/H2 Gas Injection for Carbon Film Deposition(会議名:7th International Symposium on Advanced Plasma Science its Applications for Nitrides and Nanomaterials /8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science(ISPlasma2015/IC-PLANTS2015))(2015/03/27)
  • 大気圧非平衡アルゴンプラズマジェット照射により生成される液中化学種の窒素混合率依存性(会議名:平成27年電気学会全国大会講演論文集)(2015/03/26)
  • Si製スロットアンテナによるマイクロ波励起水中気泡プラズマの基礎特性(会議名:平成27年電気学会全国大会講演論文集)(2015/03/25)
  • Cutaneous Tissue Repair Following Atmospheric Plasma Jet Treatment(会議名:The Second International Workshop on Plasma For Cancer Treatment (IWPCT 2015))(2015/03/16)
  • Si 製スロットアンテナを用いたマイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト除去プロセスの開発(会議名:第62回応用物理学会春季学術講演会)(2015/03/13)
  • TiO2ナノ粒子生成中の誘導熱プラズマトーチ内における原料粉体蒸発およびTiO分子生成過程に対する考察(会議名:第62回応用物理学会春季学術講演会)(2015/03/13)
  • 大気圧プラズマジェット照射による超純水中の硝酸、亜硝酸生成速度の調査(会議名:第24回日本MRS年次大会・第1回E-MRS/MRS-Jジョイントシンポジウム)(2014/12/10)
  • 非平衡極限プラズマ:高速スイッチング機能を有するSIDACを用いて生成される誘電体バリア放電の動的挙動の解析(会議名:Plasma Conference 2014)(2014/11/21)
  • 非平衡極限プラズマ - 液中気泡内プラズマを用いた低温・高速アッシングプロセスの開発 -(会議名:Plasma Conference 2014)(2014/11/19)
  • Carbon Impurity Seeding to Deuterium Plasma Using a Deuterated Benzene C6D6(会議名:Plasma Conference 2014)(2014/11/19)
  • Suppression of Deuterium Absorption in Deuterated Carbon Film by Nitrogen Addition(会議名:Plasma Conference 2014)(2014/11/19)
  • Investigation of Correlation between OH Radical Production Rate Induced in Liquid and Radical in Gas Phase in Low Frequency Atmospheric Pressure He/O2 Plasma Jet(会議名:Plasma Conference 2014)(2014/11/18)
  • Influence of Chemical Structure in Base Polymer Material for Photoresist Process on Thin Film Removal Characteristics using Microwave Excited Bubble Plasma in Water(会議名:Plasma Conference 2014)(2014/11/18)
  • マイクロ波バブルプラズマにより生成する化学活性種の分光測定と捕捉実験(会議名:第8回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム)(2014/11/18)
  • マイクロ波バブルプラズマによる水溶液中の汚染物質モデルの分解(会議名:第8回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム)(2014/11/18)
  • Numerical Simulation on Dynamics and Evaporation of Spallation Polymer Particles Flying in the Polymer Ablated Arcs(会議名:9th International Workshop on High Voltage Engineering (IWHV 2014) )(2014/11/08)
  • The LTE Thermofluid Simulation of Ar/SF6 Gas-Blast Arcs in a Nozzle Space in an Arc Device(会議名:9th International Workshop on High Voltage Engineering (IWHV 2014) )(2014/11/07)
  • Voltage Application Test to Residual Arcs under Free Recovery Condition using an IGBT-Controlled Impulse Generator (会議名:9th International Workshop on High Voltage Engineering (IWHV 2014))(2014/11/07)
  • Development of Environmentally-friendly Photoresist Ashing Process using Microwave Excited Plasma in Bubble in Water(会議名:The 3rd Korea-Japan Conference on Plasma and Electrostatics Technologies (KJPE 2014))(2014/11/06)
  • Enhancement of OH radicals in liquid produced by He based low frequency atmospheric pressure plasma jet with O2 and N2 gas admixture(会議名:The 3rd Korea-Japan Conference on Plasma and Electrostatics Technologies (KJPE 2014))(2014/11/06)
  • Environmental friendly micro-patterning of PZT thin films(会議名:9th Asian Meeting on Ferroelectricity and the 9th Asian Meeting on Electroceramics (AMF-AMEC-2014))(2014/10/28)
  • 基板照射時における分子性ガス導入ループ型Ar誘導熱プラズマからの発光強度分布(会議名:電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会)(2014/10/26)
  • 変調誘導熱プラズマにより大量生成したFe-doped TiO2ナノ粒子の光触媒特性(会議名:電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会)(2014/10/25)
  • Heat-shield Effect of Polymer Ablation from Synthetic-Fiber Fabrics due to Thermal Plasma Contact for Arc-Resistant Clothes(会議名:12th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 27th Symposium on Plasma Science for Materials (12th APCPST & 27th SPSM))(2014/09/04)
  • New Development of Planar/Loop Types of Inductively Coupled Thermal Plasma Torches for Large-Area Processings(会議名:12th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 27th Symposium on Plasma Science for Materials (12th APCPST & 27th SPSM))(2014/09/02)
  • Polycrystalline Diamond Film Deposition using Induction Thermal Plasmas Modulated into Sawtooth Waveform(会議名:12th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 27th Symposium on Plasma Science for Materials (12th APCPST & 27th SPSM))(2014/09/02)
  • High Production Rate Synthesis of Fe-doped TiO2 Nanopowder using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas with Time-Controlled Feedstock Feeding(会議名:12th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 27th Symposium on Plasma Science for Materials (12th APCPST & 27th SPSM))(2014/09/01)
  • 変調型誘導熱プラズマを用いたTiO2ナノ粒子生成法における原料粉体の連続/間歇投入時の発光スペクトル強度変化(会議名:2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会)(2014/09/20)
  • 非平衡大気圧プラズマジェットにより誘導される細胞内、細胞外のOH ラジカル生成と細胞殺傷効果の評価(会議名:2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会)(2014/09/20)
  • 高効率水リフトオフプロセスに向けたアモルファスCaO の潮解現象に関する検証(会議名:2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会)(2014/09/19)
  • 低周波大気圧He プラズマジェットへの分子性ガス混合率が液中OH ラジカル生成速度に与える影響(会議名:2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会)(2014/09/19)
  • セレン酸溶液に対する直流駆動大気圧非平衡プラズマ照射効果の基礎特性調査(会議名:2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会)(2014/09/19)
  • 重相構造プラズマを用いた環境に優しいプロセスの開発(会議名:平成26年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2014/09/11)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマを用いたポリマー系レジスト膜除去特性の評価(会議名:平成26年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2014/09/11)
  • 低周波非平衡大気圧HeプラズマジェットへのN2添加による液中化学物質生成速度の影響 (会議名:平成26年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2014/09/11)
  • Ar/SF6定常アークの温度分布に対するSF6混合割合依存性の電磁熱流体解析(会議名:平成26年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2014/09/11)
  • ポリマー溶発アーク内におけるポリアミドスポレーション粒子の飛翔解析モデルの構築(会議名:平成26年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2014/09/11)
  • 照射基板を設置したArループ型誘導熱プラズマの発光様相(会議名:平成26年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2014/09/11)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマによる高速アッシングプロセスの開発(会議名:第19回応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会プラズマ新領域研究会・電気学会プラズマ研究会)(2014/09/09)
  • ナノ粒子生成用Ar-O2変調誘導熱プラズマへのTi粉体間歇投入時における熱プラズマトーチ部の二次元分光観測(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2014/09/08)
  • 大気圧直流プラズマジェットおよび液中アークプラズマが液中セレンイオンの酸化還元反応に及ぼす影響(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2014/09/08)
  • 原料ガス間歇投入に伴う変動熱プラズマ場の分光観測とそれを用いた多結晶ダイヤモンド膜生成試験(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2014/09/08)
  • 熱プラズマ接触時における耐アーク用ポリマー布材溶発による熱シールド効果の数値解析モデルの構築(会議名:平成26年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2014/08/21)
  • 水中気泡プラズマを用いた低環境負荷型レジスト除去処理技術の開発(会議名:平成26年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2014/08/22)
  • 低周波大気圧非熱平衡プラズマジェット照射による液中OHラジカル生成レートの流量依存性(会議名:平成26年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2014/08/21)
  • 双方向性トリガーダイオードを用いて生成した大気圧誘電体バリア放電の動作特性の解析(会議名:平成26年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2014/08/21)
  • Pb(Zr,Ti)O3 薄膜に対する高効率水リフトオフパターニング(会議名:第2 回 有機・無機エレクトロニクスシンポジウム)(2014/07/11)
  • Spallation Occurrence Control by Mixing Phthalate Esters in Polyamide Material for Polymer Ablation Assisted Circuit Breakers (会議名:20th International conference on gas discharges and their applications(gd 2014))(2014/07/10)
  • Environmentally Friendly High-Speed Photoresist Removal Process by Microwave Bubble Plasma in Water(会議名:International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 2014 (ICMAP2014))(2014/07/08)
  • Two-Dimensional Spectroscopic Observation in the Plasma Torch for the Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas for Nanopowder Synthesis(会議名:High-Tech Plasma Processes (HTPP 2014))(2014/06/26)
  • Adoption of Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas with Time-Controlled Feedstock Feeding to High Production Rate Synthesis of Metallic Ion Doped TiO2 Nanopowder(会議名:High-Tech Plasma Processes (HTPP 2014))(2014/06/25)
  • 高速カラーカメラ及び可視/赤外光カメラを用いたアーク-陰極挙動の観測 (会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2014/06/10)
  • フタル酸エステル混練ポリアミドへのO2混入Ar熱プラズマ照射によるスポレーション発生促進(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2014/06/10)
  • パワー半導体を用いたガス吹付けアークの減衰過程および擬似回復電圧印加試験(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2014/06/09)
  • Suppression of hydrogenated carbon film deposition and hydrogen isotope retention by nitrogen addition into cold remote H/D and CH4 mixture plasmas(会議名:21st International Conference on Plasma Surface Interactions in Controlled Fusion Devices (21st PSI))(2014/05/26)
  • Visually non-contact argon plasma jet on microliter water-dropped wound accelerates wound healing(会議名:5th International Conference on Plasma Medicine (ICPM5))(2014/05/20)
  • Investigation of Chemical Species Production Rates in Aqueous Solution Irradiated by Non-equilibrium Atmospheric Pressure Jet(会議名:5th International Conference on Plasma Medicine (ICPM5))(2014/05/19)
  • Development of environmentally-friendly photoresist removal process using microwave excited bubble plasma in Water (会議名:2nd International Workshop on Solution Plasma and Molecular Technologies (SPM-2) )(2014/05/15)
  • 双方向性トリガーダイオードを用いて生成した誘電体バリア放電の動作特性解析(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2014/05/10)
  • 大面積プロセス用プレーナー/ループ型誘導熱プラズマトーチの開発(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2014/05/09)
  • 変調誘導熱プラズマによるナノ粒子の粒径制御と大量生成法(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2014/05/09)
  • 可視RGB画像と近赤外NIRを利用したアーク陰極表面温度評価法の開発(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/20)
  • フタル酸エステル混練によるポリアミドからのスポレーション発生(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/19)
  • 液体表面への非平衡大気圧直流放電により液体中に生成される化学種に関する基礎特性調査(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 低周波大気圧非熱平衡プラズマジェット照射による液中OHラジカル生成量のガス種依存性(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 水素化炭素膜へのアルゴン窒素混合プラズマ照射時の気相・表面反応の検討(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 原料ガス間歇投入に伴う誘導熱プラズマを用いた多結晶ダイヤモンド生成(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 表裏異種の合成繊維布帛へのAr誘導熱プラズマ照射による溶発現象と誘発蒸気温度評価(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 水素化炭素膜堆積後の希ガスプラズマによる水素脱離実験(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 原料間歇供給を伴う変調誘導熱プラズマを用いた Fe-doped TiO2ナノ粒子大量生成時における冷却ガス種依存性(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 窒素ガスを導入したプレーナー型Ar誘導熱プラズマの発光強度分布(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • 双方向性トリガーダイオードを用いて生成した誘電体バリア放電の特性解析(会議名:平成26年電気学会全国大会)(2014/03/18)
  • パルス変調型誘導熱プラズマを用いたTiO2ナノ粒子生成時における熱プラズマトーチ部の二次元分光観測(会議名:2014年第61回応用物理学会春季学術講演会 )(2014/03/19)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜除去処理特性にレジスト材料が及ぼす影響(会議名:2014年第61回応用物理学会春季学術講演会)(2014/03/19)
  • 三角形状に波形変調した誘導熱プラズマを用いたダイヤモンド膜生成および照射ラジカル量の変調波形依存性(会議名:2014年第61回応用物理学会春季学術講演会)(2014/03/17)
  • A Large Amount Synthesis of Fe-doped TiO2 Nanopowder using Modulated Induction Thermal Plasmas with Time-Controlled Feeding of Feedstock(会議名:ISPlasma2014/IC-PLANTS2014)(2014/03/06)
  • Investigation of Gas Flow Influence on OH Radical Generation Rate in Low Frequency Atmospheric Pressure Plasma Jet(会議名:ISPlasma2014/IC-PLANTS2014)(2014/03/06)
  • Enhancement of OH Radical Generation Rate in Aqueous Solution by Microwave-excited Bubble Plasma Production(会議名:ISPlasma2014/IC-PLANTS2014)(2014/03/04)
  • Influence of Coil-current Modulation for Induction Thermal Plasmas on Large Amount Synthesized Al-doped TiO2 Nanopowder (会議名:8th International Conference on Reactive Plasmas, 31st Symposium on Plasma Processing(ICRP-8/SPP-31))(2014/02/06)
  • Improving the Healing Effect of Cold Plasma Treatment on Wound using Water Adding(会議名:8th International Conference on Reactive Plasmas, 31st Symposium on Plasma Processing(ICRP-8/SPP-31))(2014/02/05)
  • Discharge Characteristics of Dielectric Barrier Discharges Generated by Silicon Diode for Alternating Current(SIDAC) (会議名:8th International Conference on Reactive Plasmas, 31st Symposium on Plasma Processing(ICRP-8/SPP-31))(2014/02/04)
  • Development of Environmentally-Friendly Photoresist Removal Process Using Microwave-excited Plasma in Pure Water (会議名:8th International Conference on Reactive Plasmas, 31st Symposium on Plasma Processing(ICRP-8/SPP-31))(2014/02/04)
  • Investigation of Chemical Species Production Rates in Liquid Induced by Atmospheric Pressure DC Plasma Jet Irradiation (会議名:Fourteenth International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BMMP-14))(2014/01/27)
  • Investigation of Reactive Oxide Speacies Generation Rate in Microwave Excited Bubble Plasma in Liquid (会議名:Fourteenth International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BMMP-14))(2014/01/25)
  • 直流アーク陰極点に形成される溶融金属池の動的挙動と表面温度評価(会議名:第30回プラズマ・核融合学会 年会)(2013/12/06)
  • メタンを含んだ低温水素/重水素プラズマ中における炭素膜生成に窒素が及ぼす影響 (会議名:第30回プラズマ・核融合学会 年会)(2013/12/05)
  • 原料間歇供給を伴う変調誘導熱プラズマを用いたFe-doped TiO2ナノ粒子の大量生成実験(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2013/11/21)
  • 熱プラズマを照射した合成繊維布帛からの溶発蒸気による熱遮蔽効果の基礎的検討(会議名:電気学会プラズマ研究会)(2013/11/21)
  • Development of Novel Photoresist Removal Process using Multi-Phase Plasma(会議名:International Conference on Surface Engineering (ICSE2013))(2013/11/21)
  • Micropatterning of Pb(Zr,Ti)O3 Films by He Plasma Jet Assited Water Lift-off Process(会議名:The 2nd International Conference on Advanced Electromaterials(ICAE 2013))(2013/11/14)
  • Micropatterning of Oxide Films by Atmospheric Pressure Plasma Jet assisted Water Lift-off Process(会議名:The 2nd International Conference on Advanced Electromaterials(ICAE 2013))(2013/11/12)
  • Study on Erosion Processes of Hot Molten Cathode in the Stablized Arc Plasmas(会議名:9th Asia Plasma and Fusion Association Conference(APFA2013))(2013/11/07)
  • Effects of nitrogen injection on carbon film growth in low temperature hydrogen or deuterium plasmas with methane(会議名:9th Asia Plasma and Fusion Association Conference(APFA2013))(2013/11/05)
  • Effect of N2/O2 Inclusion on Polymer Ablation and Spallation Phenomena from Polyamide During Thermal Plasma Irradiation(会議名:2nd International Conference on Electric Power Equipment- Switching Technology (ICEPE-ST))(2013/10/22)
  • Investigation of OH Radical Generation Rate in Liquid induced by Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma Jet Irradiation(会議名:66th Annual Gaseous Electronics Conference(GEC2013))(2013/10/01)
  • マイクロ波バブルプラズマによるリグニンモデル分子の反応(会議名:第56回放射線化学討論会)(2013/09/28)
  • マイクロ波バブルプラズマにより生成するOHラジカルの反応(会議名:第56回放射線化学討論会)(2013/09/28)
  • High-speed Ashing Process under Low Temperature Condition using Microwave Excited Bubble Plasma in Water(会議名:第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-26))(2013/09/23)
  • 双方向性トリガーダイオードによる窒素ラジカルの高効率生成(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 可塑剤添加によるポリアミド材からのスポレーション粒子発生の促進効果 (会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 空芯コイルを用いたプレーナー型変調熱プラズマ温度の長手方向分布の時間変化 (会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 変調誘導熱プラズマを用いた原料紛体の同期間歇供給によるFe-doped TiO2ナノ粒子の大量生成試験 (会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 三角形状に変調したダイヤモンド膜生成用誘導熱プラズマのラジカル量の変調度依存性(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 大気圧非平衡直流プラズマジェットと液体との相互作用に関する基礎特性調査(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 低周波大気圧非熱平衡プラズマジェットの反応領域空間および液体との反応レートに関する基礎特性調査(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 低温重水素プラズマにおける窒素導入による炭素膜堆積および水素吸蔵抑制実験(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 低温水素プラズマにおけるアーク放電による炭素不純物の生成と炭素膜堆積(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • 近赤外線カメラを用いたアークプラズマ放電時の陰極表面の温度評価(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • プラズマ切断における陰極表面上のアーク挙動及び溶融陰極の飛散(会議名:平成25年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2013/09/22)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜除去特性の調査(会議名:2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会)(2013/09/17)
  • 大気圧非平衡プラズマジェット照射時の溶液表面積がOH生成反応速度に与える影響(会議名:2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会)(2013/09/19)
  • 原料同期間歇供給および変調誘導熱プラズマを用いたAl-doped TiO2ナノ粒子大量合成時における粒子の評価(会議名:2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会)(2013/09/19)
  • マイクロ波バブルプラズマによるリグニンモデル分子の反応(会議名:化学工学会第45回秋季大会)(2013/09/16)
  • マイクロ波バブルプラズマにより生成するOHラジカルの反応(会議名:化学工学会第45回秋季大会)(2013/09/16)
  • マイクロ波バブルプラズマによるリグニンモデル分子の反応(会議名:化学工学会第45回秋季大会)(2013/09/17)
  • マイクロ波バブルプラズマにより生成するOHラジカルの反応(会議名:化学工学会第45回秋季大会)(2013/09/17)
  • マイクロ波バブルプラズマによるリグニンモデル分子の反応(会議名:第7回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム)(2013/09/02)
  • マイクロ波バブルプラズマにより生成するOHラジカルの反応司 (会議名:第7回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム)(2013/09/02)
  • Fabrication of Polycrystalline Diamond Films using Modulated Induction Thermal Plasmas into Reverse-Sawtooth-Waveform(会議名:35th International Symposium on Dry Process(DPS2013))(2013/08/30)
  • Novel Photoresist Removal Method using Slot-antenna Excited Microwave Plasma in Ultrapure Water(会議名:35th International Symposium on Dry Process(DPS2013))(2013/08/30)
  • Fundamental Study of OH Radical Generation Rate Induced by Low Frequency Plasma Jet(会議名:The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2013))(2013/08/29)
  • A Novel Approach Large Amount Synthesis of TiO2 Nanopowder using Modulated Induction Thermal Plasmas with Time-Controlled Feeding of Feedstock(会議名:21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 21))(2013/08/08)
  • Understanding and Suppression of Magnetic Arc Blow in Plasma Arc Cutting Torch(会議名:21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 21))(2013/08/08)
  • Reduction of a heat transfer due to polymer ablation from synthetic fiber fabrics irradiated by thermal plasmas for arc resistant clothes(会議名:21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 21))(2013/08/08)
  • Temperature Evolution in a Large Volume Planar Type of Modulated Thermal Plasmas(会議名:21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 21))(2013/08/06)
  • Development of Large Amount Synthesis Method of AI-doped TiO2 Nanopowder using Modulated Induction Thermal Plasmas(会議名:21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 21))(2013/08/05)
  • Spectroscopy of hydroxyl radical formed in microwave excited bubble plasma(会議名:33rd International Conference on Solution Chemistry)(2013/07/09)
  • H-C-N反応性分子を有する低温プラズマ中における炭素堆積膜の除去特性(会議名:第9回核融合エネルギー連合講演会)(2012/06/29)
  • 吸水ポリアミドからのスポレーション粒子混入による気中アーク冷却効果の基礎的検討(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2013/06/24)
  • ノズル空間内Ar/SF6ガス吹付けアークのフリーリカバリ減衰挙動の高速度ビデオ観測(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2013/06/24)
  • Ar熱プラズマ照射時における溶発性ポリマー布帛材料からの蒸気噴出現象と裏面温度の測定(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2013/06/24)
  • プラズマ切断における磁気吹きとダブルアーク発生条件(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2013/06/24)
  • Investigation of Chemical Interactions by Atmospheric Pressure Low Frequency Plasma Jet using a Chemical Probe(会議名:2013年第60回応用物理学会春季学術講演会)(2013/03/29)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜除去プロセスの開発(会議名:2013年第60回応用物理学会春季学術講演会)(2013/03/27)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜除去プロセス(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/22)
  • 双方向トリガーダイオードを利用した誘電体バリア放電生成と環境技術への応用(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/22)
  • N2およびO2を混合した熱プラズマを照射した吸水ナイロン材からのスポレーション粒子飛翔数 (会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/21)
  • 低温重水素プラズマにおける窒素導入による炭素膜堆積抑制実験(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • 耐熱性合成繊維へのAr誘導熱プラズマ照射および蒸気温度の推定(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • Ar-O2変調誘導熱プラズマを用いたAl-doped TiO2ナノ粒子大量生成時における変調およびクエンチングガス導入効果(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • 低温プラズマ中におけるアーク放電による炭素不純物の生成と炭素膜形成(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • ダイヤモンド膜生成用変調誘導熱プラズマにおけるC2,Hスペクトルの立ち上がり継続時間依存性(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • フェライトコア型コイルによるプレーナー形Ar変調熱プラズマのAr励起温度分布(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • プラズマ切断における磁気シールドによる磁気吹きの抑制(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • プラズマ切断トーチにおける外部磁場印加によるダブルアーク現象の解明(会議名:平成25年度電気学会全国大会)(2013/03/20)
  • Investigation of Chemical Reactions in Aqueous Solution Irradiated by Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma Jet using Chemical Probe(会議名:First International Workshop on Solution Plasma and Molecular Technologies (SPM-1))(2013/03/08)
  • Effect of Cold Plasma Jet Treatment on Full-Thickness Wound Healing(会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/03)
  • Spectroscopy of hydroxyl radical formed in microwave excited bubble plasma(会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/02)
  • Detection of OH Radicals in the Liquid produced by Nonthermal Atmospheric Pressure Jet Irradiation(会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/02)
  • Observation of water droplet in non-equilibrium plasma(会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/02)
  • A large amount synthesis of Al-doped TiO2 nanopowder using pulse-modulated induction thermal plasmas with time-controlled feeding of feedstock (会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/02)
  • Formation of microwave bubble plasma on water interface and application to biomass treatment, R. Yamase, T. Kaga, C. Kurosawa, Y, Fukumura, T. Ishijima, K. Takahashi (会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/02)
  • Enhancement of Dielectric Barrier Discharges using Silicon Diode for Alternating Current its application, Y. sumiishi, Y. Uesugi, Y. Tanaka, T. Ishijima (会議名:The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology &Science(IC-PLANTS 2013))(2013/02/02)
  • Fundamental study of dissolved OH radicals in the liquid produced by atmospheric Pressure plasma jet(会議名:5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013))(2013/01/31)
  • Development of Large Volume Planar Inductively Coupled Thermal Plasma Torch with Current Modulation (会議名:5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013))(2013/01/29)
  • Investigation of Chemical Reactions in Aqueous Solution Irradiated by Atmospheric Pressure Low Frequency Plasma Jet Using Chemical Probe(会議名:Thirteenth International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BMMP-13))(2013/01/25)
  • マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜高速除去プロセスの開発(会議名:第30回プラズマプロセシング研究会)(2013/01/21)
  • 原料間歇同期導入型Ar-O2変調熱プラズマによる大量生成TiO2ナノ粒子のクエンチングガス種依存性(会議名:電気学会プラズマパルスパワー合同研究会)(2012/12/10)
  • 変調誘導熱プラズマを用いた炭素膜生成の変調波形依存性(会議名:電気学会プラズマパルスパワー合同研究会)(2012/12/11)
  • 双方向トリガーダイオードを用いた誘電体バリア放電特性の改善(会議名:第29回プラズマ・核融合学会年会)(2012/11/30)
  • 周辺プラズマへの炭素クラスター導入と窒素添加による炭素膜成長制御(会議名:第29回プラズマ・核融合学会年会)(2012/11/28)
  • Observation of decaying arc behaviors in Ar and Ar/SF6 gas confined in a nozzle using a high speed video camera(会議名:Joint Conference of IWHV2012 & JK 2012 on ED&HVE)(2012/11/17)
  • Ejection frequency of spallation particles from polyamide materials with water absorption irradiated by Ar thermal plasma with molecular gases(会議名:Joint Conference of IWHV2012 & JK 2012 on ED&HVE)(2012/11/16)
  • スロットアンテナ励起マイクロ波液中気泡プラズマを用いたレジスト除去処理の検討(会議名:平成24年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会)(2012/11/17)
  • マイクロ波バブルプラズマにより生成するOHラジカルに関する研究(会議名:第6回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム)(2012/10/05)
  • 液体界面でのマイクロ波プラズマ化学反応およびバイオマス処理への応用(会議名:第6回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム)(2012/10/05)
  • Size Control and Heavy Rate Production Method of Nanoparticles using Modulated Induction Thermal Plasma with Time-Controlled Powder Injection(会議名:11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) )(2012/10/05)
  • Prompt Response and Durability of Polymer Ablation from Polymer Fibers lrradiated by Thermal Plasmas for Arc Resistant Clothes(会議名:11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials))(2012/10/04)
  • Time Evolution in Radiation Intensities of C2 and H Spectra in Ar/CH4/H2 Modulated Induction Thermal Plasmas for Diamond Film Deposition(会議名:11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials))(2012/10/03)
  • Enhancement of Non-equilibrium Atmospheric Pressure He Plasma Discharges by Using Silicon Diode for Alternating Current(会議名:11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) )(2012/10/02)
  • Temperature Behavior in a Tandem Type of Modulated Induction Thermal Plasma for Materials Processings(会議名:11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials))(2012/10/02)
  • Novel Resist Removal Process using Microwave-excited Plasma in Water(会議名:11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials))(2012/10/02)
  • Development of Resist Removal Process using Microwave-excited Plasma under Water(会議名:International Union of Materials Research Societies-International Conference on Electronic Materials 2012(IUMRS-ICEM 2012))(2012/09/25)
  • Nanopowder Synthesis using High-Power Modulated Induction Thermal Plasmas with Heavy Rate Intermittent Feeding of Raw Material Powder(会議名:International Union of Materials Research Societies-International Conference on Electronic Materials 2012(IUMRS-ICEM 2012))(2012/09/25)
  • プラズマ切断における磁気吹き発生条件の検討(会議名:平成24年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2012/09/21)
  • 外部磁場印加によるプラズマ切断用トーチの磁気吹き現象の解明とその制御(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • タンデム型変調誘導熱プラズマの温度変化に対する上下段コイル電流変調の位相差の影響(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • Ar-O2変調熱プラズマを用いたTiO2ナノ粒子の大量生成時におけるクエンチングガス種の影響(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • ナノ粒子生成用誘導熱プラズマトーチ・反応容器内におけるパルス変調・クエンチングガス導入後の温度場解析(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • ダイヤモンド膜堆積実験時における高気圧Ar/CH4/H2 誘導熱プラズマの分光観測(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • 双方向性トリガーダイオードを用いた大気圧非平衡Heプラズマ生成(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • プレーナー形トーチを用いた変調型高熱流プラズマシステムの開発(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • マイクロ波励起液中気泡プラズマによる高速レジスト除去処理の検討(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • 非溶融合成繊維へのAr誘導熱プラズマ照射における溶発現象(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • 高速度ビデオカメラを用いたノズル空間内におけるArおよびAr-SF6吹付けアーク減衰挙動の観測(会議名:平成24年度電気関係学会北陸支部連合大会)(2012/09/01)
  • Investigation of Resist Removal using Multibubble Plasma Excited by Microwaves under Water,(会議名:39th EPS Conference on Plasma Physics 16th International Congress on Plasma Physics)(2012/07/05)
  • Control of carbon redeposition and hydrogen retension in low temperature plasmas with H-C-N reactive molecular system(会議名:39th EPS Conference on Plasma Physics 16th International Congress on Plasma Physics)(2012/07/03)
  • 熱プラズマを照射した合成繊維からの溶発蒸気の温度推定史(会議名:電気学会 放電/静止器/開閉保護合同研究会)(2012/06/25)
  • A large amount synthesis of nanopowder using modulated induction thermal plasmas synchronized with intermittent feeding of raw materials(会議名:High-Temperature Plasma Processes, HTPP2012)(2012/06/25)
  • Dynamic Behavior of Multi-Phase Structure Plasmas in a Cathode Arc Spot(会議名:20th International Conference on Plasma Surface Interactions 2012(PSI-2012))(2012/05/24)
  • Removal of carbon deposited film and hydrogen retention control by low temperature H-C-N reactive plasmas(会議名:20th International Conference on Plasma Surface Interactions 2012(PSI-2012))(2012/05/24)
  • 誘導結合HBrプラズマにおける高エネルギー電子の空間分布評価(会議名:第59回応用物理学関係連合講演会)(2012/03/18)
  • シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測(会議名:第59回応用物理学関係連合講演会)(2012/03/18)
  • Spatial Profile Measurement of High Energy Electrons in an Inductively Coupled Plasma with Electronegative Gas(会議名:The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2012/03/09)
  • Temporal-Spatial Measurement of Electric Field Using Stark Spectroscopy in Atmospheric-pressure Pulsed Slot-antenna Microwave Plasma(会議名:The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2012/03/09)
  • 液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用(会議名:第59回応用物理学関係連合講演会)(2012/03/16)
  • Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Microwave Plasma(会議名:The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2012/03/09)
  • Evaluation of High Energy Electrons in an Inductively Coupled Plasma Using Optical Emission Spectroscopy(会議名:4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2012/03/06)
  • Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Atmospheric Pressure Microwave Plasma(会議名:4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2012/03/06)
  • Spatio-temporal Variation of Microwave Electric Field in an Atmospheric Pressure Slot-antenna Microwave Plasma(会議名:4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2012/03/06)
  • Simulation of Spatial- and Energy-Distributions of High-Energy O- Ions in a RF Magnetron Plasma(会議名:4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2012/03/06)
  • Bubble Plasma Production under Water using Microwave -Basic Study in Multiphase Structure and Application-(会議名:12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BMMP-12) )(2012/01/24)
  • Evaluation of High Energy Electrons in an Inductively- Coupled Plasma with Electronegative Gas(会議名:The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2012/01/08)
  • Microwave Plasma Production under Water - Basic Research and Organic Decomposition - (会議名:The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2012/01/07)
  • Improvement of Silicon Thin Film Quality by Modified Microwave Antenna under High Pressure SiH4/H2 Plasma(会議名:第21日本MRS学術シンポジウム)(2011/12/20)
  • Evaluation of Deposited Film Suppression on the Dielectric Window Using Gas Flow(会議名:第21日本MRS学術シンポジウム)(2011/12/20)
  • RFマグネトロンプラズマ中の酸素負イオン軌道解析(会議名:Plasma Conference 2011)(2011/11/24)
  • 発光分光法を用いたICPアンテナ近傍の高エネルギー電子空間分布計測(会議名:Plasma Conference 2011)(2011/11/23)
  • マイクロ波励起プラズマを用いた減圧流水中有機物の分解処理における効率向上 (会議名:第4回プラズマ技術産業応用センター&プラズマが拓くものづくり研究会国際シンポジウム)(2011/12/01)
  • マイクロ波励起液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測(会議名:Plasma Conference 2011)(2011/11/22)
  • 時空間発光分光によるスロットアンテナ励起大気圧マイクロ波プラズマの診断(会議名:Plasma Conference 2011)(2011/11/22)
  • Suppression of film deposition in a plasma CVD system using gas flow(会議名:GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference))(2011/11/17)
  • Time-resolved OES measurement of microwave plasma produced inside controlled bubbles under water(会議名:GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference))(2011/11/17)
  • Influence of microwave electric field on Hb broadening in atmospheric pressure microwave plasma(会議名:GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference))(2011/11/15)
  • Spatial Profile of SiH4 and SiH3 Fluxes under High Speed Gas Flow Environ(会議名:DPS2011(International Symposium on Dry Process))(2011/11/11)
  • Trajectory Simulation of High-Energy O- Ions in RF Magnetron Plasma(会議名:DPS2011(International Symposium on Dry Process))(2011/11/10)
  • 誘導結合型プラズマにおける高エネルギー電子空間分布評価(会議名:応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム)(2011/10/22)
  • パルスマイクロ波液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測(会議名:応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム)(2011/10/22)
  • 数値シミュレーションを用いたRFマグネトロンプラズマにおける酸素負イオンの軌道解析(会議名:応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム)(2011/10/22)
  • 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測(会議名:応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム)(2011/10/22)
  • 分光的手法を用いた誘導結合プラズマ中高エネルギー電子の空間分布評価(会議名:平成23年度電気関係学会東海支部連合大会)(2011/09/27)
  • パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測(会議名:平成23年度電気関係学会東海支部連合大会)(2011/09/27)
  • 時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマ生成過程の観察(会議名:平成23年度電気関係学会東海支部連合大会)(2011/09/27)
  • 数値シミュレーションを用いたマグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオン挙動の解析(会議名:平成23年度電気関係学会東海支部連合大会)(2011/09/27)
  • 質量分析法を用いた大気圧マイクロ波プラズマの気相診断(会議名:平成23年度電気関係学会東海支部連合大会)(2011/09/26)
  • Silicon Film Deposition by Microwave-Excited SiH4/H2 Plasma(会議名:The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE2011))(2011/09/21)
  • Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of H Spectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma(会議名:The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG))(2011/09/01)
  • ガス流を用いた誘電体窓への膜堆積抑制の検討(会議名:第72回応用物理学会学術講演会)(2011/09/01)
  • 高圧力SiH4/H2マイクロ波プラズマによるシリコン製膜(会議名:第72回応用物理学会学術講演会)(2011/09/01)
  • ガス流環境下におけるH2/SiH4プラズマの気相診断(会議名:第72回応用物理学会学術講演会)(2011/08/31)
  • マイクロ波励起プラズマを用いた有機物含有流体処理におけるプロセスの高効率化(会議名:第72回応用物理学会学術講演会)(2011/08/31)
  • Spatiotemporal measurement of microwave electric field in an atmospheric pressure microwave plasma (会議名:The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2011/07/22)
  • Flowing Liquid Treatment by Microwave Plasma(会議名:The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2011/07/22)
  • Flowing Liquid Treatment by Microwave Plasma under Reduced Pressures(会議名:第24回プラズマ材料科学シンポジウム)(2011/07/20)
  • Behavior of High Energy Negative Ions in RF Magnetron Sputtering Plasma(会議名:第24回プラズマ材料科学シンポジウム)(2011/07/20)
  • Time- and Space-Resolved Characteristics of Ozone Concentration in Atmospheric Pressure Plasma using Ultra Short Pulses(会議名:The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP-2011))(2011/07/06)
  • Enhancement of Polyimide/Copper Film Adhesion by Dense Carbon Interlayer using Microwave Plasma CVD(会議名:The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP-2011))(2011/07/05)
  • RFマグネトロン・スパッタリング法で作製したMgO障壁層MTJのMgO結晶配向性と高エネルギー負イオンとの関係(会議名:日本HDD協会 ヘッド・ディスク部会)(2011/06/24)
  • Improvement of Silicon Thin Film Quality for Photovoltaic Cells by Modified Microwave Antenna Structure(会議名:The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ICPLANT-2011))(2011/03/11)
  • Measurement of SiH3 Spatial Profile in H2/SiH4 Microwave Plasma(会議名:The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ICPLANT-2011))(2011/03/11)
  • Treatment of Flowing Organic Solution by Microwave Excited Plasma under Reduced-Pressure Condition(会議名:The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ICPLANT-2011))(2011/03/11)
  • Investigation of C6H6 Dissociation Process in a Microwave Plasma(会議名:The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ICPLANT-2011))(2011/03/11)
  • Space- and Time-Resolved Measurement of Electric Field (会議名:The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ICPLANT-2011))(2011/03/11)
  • Reactive Species Measurement of an Atmosphere-pressure Plasma by a Differentially-Pumped Mass-Spectrometer(会議名:The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ICPLANT-2011))(2011/03/11)
  • Dissociation Process of C6H6 Molecules in Surface Wave Plasma(会議名:3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2011/03/09)
  • Improvement of Silicon Thin Film Quality for Photovoltaic Cells by Newly-developed Microwave Antenna(会議名:3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2011/03/08)
  • Gas-Phase Diagnostics of Hydrogen Diluted Silane Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry(会議名:3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2011/03/08)
  • Flowing Liquid Treatment by Microwave Plasma under Reduced Pressure Condition(会議名:3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2011/03/07)
  • Improvement of Adhesion Strength between Polyimide and Copper Foil by High Density Plasma Treatment(会議名:11th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BWWMP-11) )(2011/01/28)
  • Evaluation of Absolute SiH3 Radical Density in H2/SiH4 Surface Wave Exited Plasma(会議名:The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2011/01/06)
  • Time and Space Resolved Measurement of Microwave Electric Field in Atmospheric Pressure Plasma(会議名:The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2011/01/05)
  • Microwave H2/SiH4 PCVD by Modified Microwave Antenna for Improvement of Silicon Film Quality(会議名:The 32nd International Symposium on Dry Process)(2010/11/11)
  • Influences of Liquid Temperature and Pressure on Microwave-Excited Bubble Plasma Production(会議名:7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference)(2010/10/07)
  • Formation of High Energy Oxygen Species in RF Magnetron Sputter Plasma(会議名:7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference)(2010/10/06)
  • Absolute Density Measurement of SiHx Radicals in SiH4/H2 Microwave Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry(会議名:7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on PlasProcessing and 63rd Gaseous Electronics Conferencema )(2010/10/05)
  • Space- and Time-Resolved Measurement of Hb Emission Spectrum in Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Plasma(会議名:7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference)(2010/10/05)
  • Gas phase diagnostics of high-density SiH4/H2 microwave plasma(会議名:39th The Korean Vacuum Society Summer)(2010/08/19)
  • Organic Solute Decomposition using Microwave excited Plasma(会議名:The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2010/07/09)
  • Dissociation process of SiH4 parent gas in high density microwave plasma for Si film deposition(会議名:10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) )(2010/07/05)
  • Influence of pressure and water temperature on the microwave plasma production under water(会議名:10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) )(2010/07/05)
  • Multibubble Plasma Production and Efficient Liquid Treatment by Slot-excited Microwave(会議名:International Workshop on Plasmas with Liquids)(2010/03/22)
  • Effect of Post-Baking on Copper Adhesion to Polyimide Films Treated by High Density Microwave Plasma(会議名:The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2010/03/11)
  • Time Resolved Measurement of Hb Emission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma(会議名:The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2010/03/11)
  • Mass Spectrometric Measurement of Neutral Radicals in SiH4/H2 High Density Microwave Plasma(会議名:The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2010/03/11)
  • Microcrystalline Silicon Film Deposition by 915MHz High-Density Microwave Plasma (会議名:The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)(2010/03/11)
  • Gas-Phase Diagnostics of SiH4/H2 Surface Wave Excited Plasma(会議名:2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2010/03/10)
  • The Effect of Temperature and Pressure for Microwave-Excited Bubble Plasma Production(会議名:2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2010/03/10)
  • Substrate Temperature Control in Microwave Plasma CVD(会議名:2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2010/03/10)
  • Periodic Peak Formation in O- Energy Distribution in RF Magnetron Plasma(会議名:2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials)(2010/03/08)
  • Influence of Temperature and Pressure on Multibubble Plasma Production by Microwave(会議名:10th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BWWMP-10) and 1st International Symposium on Water Science and Technology(WaST-1), January 26,2010, Nagoya, Japan)(2010/01/26)
  • Behavior of High-Energy Oxygen Negative Ions in Magnetron Plasma with Oxide Targets(会議名:The 10th International Worksop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics)(2010/01/10)
  • Spatial variation of O− Energy distribution in an RF magnetron plasma(会議名:62nd Annual GEC)(2009/10/22)
  • Temporal variation of plasma density in atmosphericpressure pulsed-microwave plasma(会議名:62nd Annual GEC)(2009/10/22)
  • TIME-DEPENDENT PLASMA-DENSITY MEASUREMENT OF ATMOSPHERIC-PRESSURE PULSED-MICROWAVE PLASMA BY STARK BROADENING(会議名:7th International Workshop on "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications")(2009/09/27)
  • SIH4 GAS DISSOCIATION PROCESS IN HIGH-DENSITY MICROWAVE PLASMA FOR SILICON FILM DEPOSITION(会議名:7th International Workshop on "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications")(2009/09/27)
  • Monosilane Dissociation Process in Microwave-Excited High-Density H2/SiH4 Plasma(会議名:The 31th International Symposium on Dry Process)(2009/09/24)
  • TOC Evaluation of Organic Solute Treated by Microwave-Excited Bubble Plasma(会議名:The 31th International Symposium on Dry Process)(2009/09/24)
  • Investigation of Plasma Nitridation of Silicon (111) as a Mask layer for GaN Selective Area Growth, T. Ishijima, S. Frederico, Y. Honda and H. Sugai (会議名: 7th APCPST(Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 17th SPSM(Symposium on Plasma Science for Materials) )(2004)
  • Plasma Production and Control for Materials Processing, H. Sugai, E. Abdel-Fattah, T. Ishijima and P. Ganachev (会議名: 7th APCPST(Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 17th SPSM(Symposium on Plasma Science for Materials))(2004)
  • Investigation of N2/Ar and N2/He based plasma chemistry for Nitridation of Silicon Surface for Selective GaN Growth,S. Frederico, T. Ishijima, Y. Honda and H. Sugai (会議名:COE Forum on Plasma Science and Technology)(2004)
  • Oxygen Radical Increase by Hydrogen Addition in SWP-Based Silicon Oxidation,Y. Tanabe, T. Ishijima and H. Sugai (会議名:COE Forum on Plasma Science and Technology)(2004)
  • New Excitation Scheme of Large-Area Surface-Wave Plasma for Materials Processing,K. Takasu, T. Ishijima, Y. Nojiri, H. M. Liu and H. Sugai (会議名:COE Forum on Plasma Science and Technology)(2004)
  • Slot Antenna Excitation of Surface Wave Modes in a Large Bounded Plasma,Y. Nojiri, T. Ishijima, K. Takasu, M. Liu and H. Sugai (会議名: COE Forum on Plasma Science and Technology)(2004)
  • Investigation of Plasma Nitirdation of Silicon for Gan Growth Using In-Situ Ellipsometer, S. Frederico, T. Ishijima, Y. Honda, H. Sugai (会議名:International Symposium on Novel Materials Procesing by Advanced Electromaggnetic Energy Sources)(2003)
  • Production of Large-Area Microwave Plasma for Material Processing,H. M. Liu, T. Ishijima, K. Takasu, Y. Nojiri, H. Sugai (会議名:International Symposium on Novel Materials Procesing by Advanced Electromaggnetic Energy Sources)(2003)
  • Plasma Sources Development in VHF/Microwave Range for Materials Processing, H. Sugai, E. Abdel-Fattah, E. Stamate and T. Ishijima (会議名:International Symposium on Novel Materials Procesing by Advanced Electromaggnetic Energy Sources)(2003)
  • Optimization of Antenna-Plasma Coupling System for Large-Area Microwave Plasma Production,Tatsuo Ishijima, K.Takasu, M.Liu and H. Sugai (会議名: 3rd International Symposium on Dry Process)(2003)
  • Surface Wave Excited Plasma for Low-temperature Silicon Oxidation and Oxygen Radical Control,T. Ishijima, H. Matoba, and H. Sugai (会議名: Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases)(2003)
  • High-pressure cold plasma production by microwave discharge, T. Ishijima, T. Yamazaki , H. Sugai(会議名:Joint Conference on ESCAMPIG 16(Sixteenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases) and ICRP 5(Fifth International Conference on Reactive Plasmas))(2002)
  • Rare-gas based control of high density plasmas for silicon oxidation process, H. Matoba, T. Ishijima, H. Sugai (会議名:Joint Conference on ESCAMPIG 16(Sixteenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases) and ICRP 5(Fifth International Conference on Reactive Plasmas))(2002)
  • Observation of anisotropic non-magnetized plasmas near walls,T. Ishijima, M. Uenuma, L. D. Tsendin, H. Sugai (会議名:Joint Conference on ESCAMPIG 16(Sixteenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases) and ICRP 5(Fifth International Conference on Reactive Plasmas))(2002)
  • Effects of Meatastable Atom to Electron Temperature and Radical Composition in Fluorocarbon Plasmas,T. Ishijima, M. Ikeda, H. Sugai (会議名:Joint Int. Conf. Surface Engineering)(2001)
  • Control of Electron Temperature by Mixing Rare Gases in Fluorocarbon Plasma,T. Ishijima, M. Ikeda and H. Sugai (会議名:54th Annual Gaseous Electronics Conference)(2001)
  • Anisotropy of Electron Energy Distribution Function near Walls Non-Magnetized Discharges,T. Ishijima M. Uenuma L. Tsendin and H. Sugai (会議名:The 12th Intrnational Toki Conference on Plasma Physics and Controlled Nuclear Fusion and The 3rd General Scientific Assembly of Asia Plasma Fusion Association)(2001)
  • Electron Temperature Control by Rare Gas Mixing with Matastable Atom Contribution,T. Ishijima, M. Ikeda, H. Sugai (会議名:International Symposium on Dry Process)(2001)
  • Effects of Rare Gas Mixture on Electron Distribution Function and Fluorocarbon Radical Composition, T. Ishijima, M. Ikeda and H. Sugai (会議名: 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases)(2001)
  • Observation of Anisotropy of Electron Distribution Function, M. Uenuma, T. Ishijima, L. Tsendin, H. Sugai (会議名:25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases)(2001)
  • Electron Temperature Control by Admixing Rare Gas in High Density Plasma,M. Ikeda, T. Ishijima and H. Sugai(会議名:25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases)(2001)
  • Effect of Xenon dilution on Fluorocarbon Plasma Chemistry and Electron Distribution Function, H. Sugai, T. Ishijima, M. Ikeda(会議名:47th International Symposium on America Vacuum Society)(2000)
  • Diagnostics of atmospheric pressure plasma by space and time-resolved Stark broadening(会議名:The 2nd International Plasma Nanoscience Symposium)(2012/12/13)
  • International Union of Materials Research Societies-International Conference on Electronic Materials 2012(IUMRS-ICEM 2012), Development of Resist Removal Process using Microwave-excited Plasma under Water, September, 2012(2012)
  • 2013年第60回応用物理学会春季学術講演会, Investigation of Chemical Interactions by Atmospheric Pressure Low Frequency Plasma Jet using a Chemical Probe, 2013年3月 (2012)
  • 11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials), Novel Resist Removal Process using Microwave-excited Plasma in Water, October, 2012(2012)
  • Thirteenth International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BMMP-13), Investigation of Chemical Reactions in Aqueous Solution Irradiated by Atmospheric Pressure Low Frequency Plasma Jet using Chemical Probe, January, 2013(2012)
  • ミニマルファブ用プラズマプロセス開発WG会議 7月22日(月) 13:00~,九州産業技術センター3F 大会議室 依頼講演:題目 「マイクロ波励起水中プラズマを用いた低温・高速レジスト除去技術の開発」 (2013)
  • 1st International Workshop on Solution Plasma and Molecular Technologies(SPM-1),Investigation of Chemical Reactions in Aqueous Solution Irradiated by Non -Equilibrium Atmospheric Pressure Plasma Jet using Chemical Probe, March, 2012 (2012)
  • 39th EPS Conference on Plasma Physics 16th International Congress on Plasma Physics, Investigation of Resist Removal using Multibubble Plasma Excited by Microwaves under Water, July, 2012(2012)
  • 双方向性トリガーダイオードを用いて生成した液中誘電体バリア放電プラズマ(会議名:平成27年電気学会 基礎・材料・共通部門大会)(2015/09/17)

芸術・フィールドワーク

特許

○プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
○成膜装置及びそれを用いた成膜方法
○プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法(特許番号:5156913)
○液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法(特許番号:4982658)
○液中プラズマ処理装置および液中プラズマ処理方法(公開年月:2014/07/07)
○液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法
○液体処理装置および液体処理方法
○プラズマ生成装置
○塩水処理方法(公開年月:2014/09/22)
○プラズマ処理装置
○プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置(公開年月:2014/02/20)
○消弧絶縁材料および消弧装置
○プラズマ切断機および切断方法(公開年月:2014/07/07)(出願国名:アメリカ、ドイツ、韓国)
○マイクロ波プラズマ処理装置(特許番号:5349923)
○マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法
○プラズマ生成装置
○樹脂ホースおよびその製法
○プラズマ処理装置、プラズマ酸化処理装置およびプラズマ処理方法

共同研究希望テーマ

○大気圧非平衡プラズマを用いた液中誘起化学反応促進法の開発
○反応性気液プラズマを用いた新規化学プロセスの創製

科研費

○基盤研究(C)「プラズマ誘起液中化学反応場の解析」(2013-2015) 代表者
○新学術領域研究(研究領域提案型)「高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明」(2012-2014) 代表者
○基盤研究(A) 「原料間歇同期投入を伴う任意波形変調熱プラズマを用いた高純度ナノ粒子の革新量産技術」(2014-2016) 分担者
○基盤研究(B) 「窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御」(2016-2018) 分担者

学域・学類担当授業科目

○熱・統計力学(2017)
○物理学Ⅱ(2017)
○熱・統計力学(2016)
○物理学Ⅱ(2016)
○熱・統計力学(2015)
○物理学Ⅱ(2015)
○熱・統計力学(2014)
○熱・統計力学(2013)
○熱・統計力学(2012)

大学院担当授業科目

○非平衡プラズマ工学(2017)
○非平衡プラズマ工学(2017)
○非平衡プラズマ工学(2017)
○電気エネルギー変換概論B(2017)
○電気エネルギー変換概論A(2017)
○非平衡プラズマ工学(2017)
○電気エネルギー変換概論A&B(2017)
○非平衡プラズマ工学(2016)
○プラズマ制御工学(2015)
○非平衡プラズマ工学(2015)
○非平衡プラズマ工学(2014)
○プラズマ制御工学(2014)
○非平衡プラズマ工学(2014)
○非平衡プラズマ工学(2013)
○プラズマ制御工学(2013)
○非平衡プラズマ工学(2012)
○プラズマ制御工学(2012)

他大学の客員教授

教育活動(FD)に関する研究

国際事業協力

○ ミャンマー工学教育拡充プロジェクト独立行政法人 国際協力機構(JICA) ミャンマー(2017-2018) ミャンマーミャンマーヤンゴン工科大学、マンダレー工科大学に対する研究・教育の指導 https://www.jica.go.jp/project/myanmar/007/index.html

留学生参加の社会活動

審議会等の参加

講演可能なテーマ

○水プラズマを用いた半導体製造プロセス装置の開発(キーワード:水、プラズマ、プロセス)

その他公的社会活動

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