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研究者情報

データ更新日：2024年12月22日

德田　規夫　（とくだ のりお）　教授　TOKUDA Norio

メール 研究室ウェブサイト

所属組織・役職等

ナノマテリアル研究所

教育分野

【学士課程】
理工学域　電子情報通信学類　電気電子コース
【大学院前期課程】
自然科学研究科　電子情報科学専攻
【大学院後期課程】
自然科学研究科　電子情報科学専攻

所属研究室等

薄膜電子工学研究室

学歴

【出身大学院】
筑波大学　修士課程　理工学研究科　理工学専攻　2002/03　修了
筑波大学　博士課程　数理物質科学研究科　電子・物理工学専攻　2005/03　修了
【出身大学】
筑波大学　第三学群　工学システム学類　2000/03　卒業
【取得学位】
博士（工学）

職歴

産業技術総合研究所　特別研究員(2005/04/01-2009/03/31)
金沢大学　理工研究域　電子情報学系　助教(2009/04/01-2011/08/31)
金沢大学　理工研究域　電子情報学系　准教授(2011/09/01-2018/11/30)
産業技術総合研究所　クロスアポイントメントフェロー(2018/04/01-2020/03/31)
金沢大学　ナノマテリアル研究所　教授(2018/12/01-)
京都大学　客員教授(2020/04/01-2021/03/31)

生年月

1976年06月

所属学会

応用物理学会
日本表面科学会
ナノ学会
日本結晶成長学会
表面技術協会
ニューダイヤモンドフォーラム

学内委員会委員等

○広報委員　委員(2012-2013)

受賞学術賞

○筑波大学学長表彰(2005/03)
○筑波大学大学院 数理物質科学研究科長賞(2005/03)
○第20回ダイヤモンドシンポジウム ポスターセッション賞(2006/11)
○第21回（2006年秋季）応用物理学会 講演奨励賞(2007/03)
○ナノ学会第5回大会 若手優秀発表賞(2007/05/22)
○第38回結晶成長国内会議 講演奨励賞(2008/11)
○第11回（表面技術協会　第120回講演大会）優秀講演賞(2010/03/16)
○2015年秋季学術講演会Poster Award(2015/10/01)
○第3回薄膜・表面物理分科会論文賞(2019/03)
○第38回（2016年度）応用物理学会優秀論文賞(2016/09/13)

専門分野

無機材料・物性

専門分野キーワード

半導体、表面科学、ダイヤモンド、グラフェン

研究課題

シリコン及びカーボン系低次元ナノ構造物の作製と機能の創出

シリコン及びカーボン系低次元ナノ構造物の作製と機能の創出 シリコン及びカーボン系材料を用いたメゾスコピック系の構造物を作製し、その量子力学的機能を用いた新規ナノエレクトロニクスの創出を目指しています。
また、同素体カーボン材料（フラーレン、カーボンナノチューブ、グラフェン、ダイヤモンドなど）を用いたカーボンエレクトロニクスへの展開も行っています。

ダイヤモンドの結晶成長、ドーピング・表面制御

ダイヤモンドの結晶成長、ドーピング・表面制御 ダイヤモンドは物質中最高の硬度や熱伝導率など優れた物理的特性を有しているだけではなく、Siや SiCよりも高い電子及び正孔の移動度を有し、かつ、絶縁破壊電界はSiや次世代パワーデバイス半導体材料と期待されているSiC、GaNよりも高いことから、未来型極限パワーデバイス材料として期待されています。
我々は、その実現を目指し、マイクロ波プラズマ化学気相堆積法を用いてダイヤモンドの結晶成長、ドーピング、表面制御を行っています。

著書

  • Novel Aspects of Diamond　Springer International Publishing　2014/11　原著書　共著　Yang, Nianjun (Ed.) (Chapter 1) Tokuda, Norio　978-3-319-09833
  • 2013ナノカーボン技術大全　電子ジャーナル　2012/11　原著書　共著

論文

  • Formation of Step-Free Surfaces on Diamond (111) Mesas by Homoepitaxial Lateral Growth　Norio Tokuda, Toshiharu Makino, Takao Inokuma, and Satoshi Yamasaki　Jpn. J. Appl. Phys.　51巻　090107頁　2012　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Nanometer Scale Height Standard Using Atomically Controlled Diamond Surface　Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Satoshi Gonda, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Appl. Phys. Express　2巻　5号　055001頁　2009/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Flattening of oxidized diamond (111) surfaces with H2SO4/H2O2 solutions　Norio Tokuda, Daisuke Takeuchi, Sung-Gi Ri, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　18巻　2-3号　213-215頁　2009/02　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Atomically flat diamond (111) surface formation by homoepitaxial lateral growth　Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Sung-Gi Ri, Masahiko Ogura, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　17巻　7-10号　1051-1054頁　2008/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Roughening of atomically flat diamond (111) surface by a hot HNO3/H2SO4 solution　Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Sung-Gi Ri, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　17巻　4-5号　486-488頁　2008/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）

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  • Hillock-Free Heavily Boron-doped Homoepitaxial Diamond Films on Misoriented (001) Substrates　Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Jpn. J. Appl. Phys.　46巻　4A号　1469-1470頁　2007/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • The role of boron atoms in heavily boron-doped semiconducting homoepitaxial diamond growth - Study of surface morphology　Norio Tokuda, Takeyasu Saito, Hitoshi Umezawa, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　16巻　2号　409-411頁　2007/02　査読有　原著論文
  • Selective Growth of Ag Nanowires on Si(111) Surfaces by Electroless Deposition　Norio Tokuda, Naoyuki Sasaki, Hidenobu, Watanabe, Kazushi Miki, Satoshi Yamasaki, Ryu Hasunuma and Kikuo Yamabe　J. Phys. Chem. B　109巻　26号　12655-12657頁　2005/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Selective Growth of Monoatomic Cu Rows at Step Edges on Si(111) Substrates in Ultralow-Dissolved-Oxygen Water　Norio Tokuda, Masayasu Nishizawa, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki, Ryu Hasunuma and Kikuo Yamabe　Jpn. J. Appl. Phys.　44巻　19号　L612-L615頁　2005/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Fabrication of Cu Nanowires along Atomic Step Edge Lines on Si(111) Substrates　Norio Tokuda, Hidenobu Watanabe, Daisuke Hojo, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe　Appl. Surf. Sci.　237巻　1-4号　528-531頁　2004/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Leakage Current Distribution and Dielectric Breakdown of Cu-Contaminated Thin SiO2　Norio Tokuda, Shingo Nishiguchi, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe　J. Electrochem. Soc.　151巻　4号　F81-F86頁　2004/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Local Dielectric Degradation of Cu-Contaminated SiO2 Thin Films　Norio Tokuda, Shingo Nishiguchi, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe　Solid State Phenomena　95-96巻　641-646頁　2004　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Selective Growth of Cu Nanowires on Si(111) Substrates　Norio Tokuda, Daisuke Hojo, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe　Jpn. J. Appl. Phys.　42巻　2B号　L1210-L1212頁　2003/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Leakage Current Distribution of Cu-Contaminated Thin SiO2　Norio Tokuda, Takahiro Kanda, Satoshi Yamasaki, Kazushi Miki and Kikuo Yamabe　Jpn. J. Appl. Phys.　42巻　2B号　L160-L162頁　2003/02　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • SiO2 Surface and SiO2/Si Interface Topography Change by Thermal Oxidation　Norio Tokuda, Masahide Murata, Daisuke Hojo and Kikuo Yamabe　Jpn. J. Appl. Phys.　40巻　8号　4763-4768頁　2001/08　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • 原子的に平坦化されたSi(111)表面へのCuナノ細線の形成と原子間力顕微鏡およびフーリエ変換赤外分光法による評価　徳田規夫、西澤正泰, 三木一司, 山崎聡, 蓮沼隆, 山部紀久夫　日本赤外線学会誌　15巻　1+2号　78-83頁　2006/02　査読有　原著論文
  • Diamond Schottky-pn diode with high forward current density and fast switching operation　Toshiharu Makino, Satoshi Tanimoto, Yusuke Hayashi, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Kazuhiro Oyama, Hiromichi Ohashi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Appl. Phys. Lett.　94巻　26号　262101頁　2009/06　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Diamond nanowires, a new approach towards next generation electrochemical gene sensor platforms　C. E. Nebel, N. Yang, H. Uetsuka, E. Osawa, N. Tokuda, O. Williams　Diamond Relat. Mater.　18巻　5-8号　910-917頁　2009/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Characterization of specific contact resistance on heavily phosphorus-doped diamond films　Hiromitsu Kato, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　18巻　5-8号　782-785頁　2009/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Electrical and light-emitting properties from (111)-oriented homoepitaxial diamond p-i-n junctions　Toshiharu Makino, Sung-Gi Ri, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Satoshi Yamasaki, Hideyo Okushi　Diamond Relat. Mater.　18巻　5-8号　764-767頁　2009/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Selective Growth of Buried n+ Diamond on (001) Phosphorus-Doped n-Type Diamond Film　Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Appl. Phys. Express　2巻　5号　055502頁　2009/04　査読有　原著論文
  • High performance of diamond p+-i-n+ junction diode fabricated using heavily doped p+ and n+ layers　Kazuihiro Oyama, Sung-Gi Ri, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Appl. Phys. Lett.　94巻　15号　152109頁　2009/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Recovery of negative electron affinity by annealing on (111) oxidized diamond surfaces　Daisuke Takeuchi, Sung-Gi Ri, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　18巻　2-3号　206-209頁　2009/02　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Doping-induced changes in the valence band edge structure of homoepitaxial B-doped diamond films below Mott's critical density　PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH　206巻　1991-1995頁　2009/09　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Vertically aligned diamond nanowires: Fabrication, characterization, and application for DNA sensing　PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH　206巻　2048-2056頁　2009/09　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Diamond Schottky-pn diode with high forward current density　PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH　206巻　2086-2090頁　2009/09　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Low specific contact resistance of heavily phosphorus-doped diamond film　Hiromitsu Kato, Hitoshi Umezawa, Norio Tokuda, Daisuke Takeuchi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　APPLIED PHYSICS LETTERS　93巻　9号　202103頁　2008/11　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Electrical and light-emitting properties of homoepitaxial diamond p-i-n junction　Toshiharu Makino, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Shokichi Kanno, Satoshi Yamasaki, and Hideyo Okushi　PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH　205巻　9号　2200-2206頁　2008/08　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Electrical activity of doped phosphorus atoms in (001) n-type diamond　Hiromitsu Kato, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Satoshi Yamasaki, and Hideyo Okushi　PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH　205巻　9号　2195-2199頁　2008/08　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Fermi level pinning-free interface at metals/homoepitaxial diamond (111) films after oxidation treatments　Sung-Gi Ri, Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki　APPLIED PHYSICS LETTERS　92巻　 112112頁　2008/03　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Mapping of extended defects in B-doped (001) homoepitaxial diamond films by electron-beam-induced current (EBIC) and cathodoluminescence (CL) combination technique　Sung-Gi Ri, Xiao Li Yuan, Takashi Sekiguchi, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Hideyo Okushi and Satoshi Yamasaki　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　17巻　4-5号　489-493頁　2008/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Photoelectron emission from heavily B-doped homoepitaxial diamond films　Daisuke Takeuchi, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, and Satoshi Yamasaki　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　17巻　4-5号　813-816頁　2008/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Exciton-derived Electron Emission from (001) Diamond p–n Junction Diodes with Negative Electron Affinity　Daisuke Takeuchi, Toshiharu Makino, Sung-Gi Ri, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Applied Physics Express　1巻　1号　015004頁　2008/01　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Direct observation of two-dimensional growth at SiO2/Si(111) interface　Daisuke Hojo, Norio Tokuda, Kikuo Yamabe　THIN SOLID FILMS　515巻　20-21号　7892-7898頁　2007/08　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Inhomogeneous DNA bonding to polycrystalline CVD diamond　C. E. Nebel, H. Uetsuka, B. Rezek, D. Shin, N. Tokuda, and T. Nakamura　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　16巻　8号　1648-4651頁　2007/08　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Diamond and biology　Christoph E. Nebel, Dongchan Shin, Bohuslav Rezek, Norio Tokuda, Hiroshi Uetsuka and Hideyuki Watanabe　Journal of the Royal Society Interface　4巻　14号　439-461頁　2007/06　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Electrical and light-emitting properties of (001)-oriented homoepitaxial diamond p-i-n junction　Toshiharu Makino, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Hideyuki Watanabe, Sung-Gi Ri, Satoshi Yamasaki and Hideyo Okushi　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　16巻　4-7号　1025-1028頁　2007/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Cycle of two-step etching process using ICP for diamond MEMS applications　Takatoshi Yamada, Hiromichi Yoshikawa, Hiroshi Uetsuka, Somu Kumaragurubaran, Norio Tokuda, Shin-ichi Shikata　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　16巻　4-7号　996-999頁　2007/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Surface electronic properties on boron doped (111) CVD homoepitaxial diamond films after oxidation treatments　Sung-Gi Ri, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda, Yuichi Yamazaki, Satoshi Yamasaki and Hideyo Okushi　16巻　4-7号　831-835頁　2007/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Electrochemical grafting of boron-doped single-crystalline CVD-Diamond with nitrophenyl molecules　Hiroshi Uetsuka, Dongchan Shin, Norio Tokuda, Kazuhiko Saeki, and Nebel Erwin Christoph　LANGMUIR　23巻　6号　3466-3472頁　2007/03　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Leakage current analysis of diamond Schottky barrier diode　Hitoshi Umezawa, Takeyasu Saito, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Sung-Gi Ri, Hiromichi Yoshikawa, Shin-ich Shikata　APPLIED PHYSICS LETTERS　90巻　073506頁　2007/02　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Characterization of leakage current on diamond Schottky barrier diodes using thermionic-field emission modeling　Hitoshi Umezawa, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Sung-Gi Ri and Shin-ichi Shikata　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　15巻　11-12号　1949-1953頁　2006/11　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Energetics of dopant atoms in subsurface positions of diamond semiconductor　Takehide Miyazaki, Hiromitsu Kato, Sung-Gi Ri, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, and Satoshi Yamasaki　SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES　40巻　4-6号　574-579頁　2006/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Photo-and electrochemical bonding of DNA to single crystalline CVD diamond　D. Shin, B. Rezek, N. Tokuda, D. Takeuchi, H. Watanabe, T. Nakamura, T. Yamamoto, and C. E. Nebel　PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH　203巻　13号　3245-3272頁　2006/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • High-efficiency Excitonic Emission with Deep-ultraviolet Light from (001)-oriented Diamond p-i-n Junction　Toshiharu Makino, Norio Tokuda, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Hideyuki Watanabe, Sung-Gi Ri, Satoshi Yamasaki, Hideyo Okushi　JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV　45巻　39号　L1042-L1044頁　2006/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Periodically arranged benzene-linker molecules on boron-doped single-crystalline diamond films for　DNA sensing　Dongchan Shin, Norio Tokuda, Bohuslav Rezek, Christoph E. Nebel　ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS　8巻　5号　844-850頁　2006/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Surface conductive layers on (111) diamonds after oxygen treatments　Sung-Gi Ri, Christoph E. Nebel, Daisuke Takeuchi, Bohuslav Rezek, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki and Hideyo Okushi　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　15巻　4-8号　692-697頁　2006/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Utilization of Si atomic steps for Cu nanowire fabrication　Ryu Hasunuma, Takanobu Yada, Junichi Okamoto, Daisuke Hojo, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe　Science and Technology of Advanced Materials　6巻　667-670頁　2005/09　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Nonuniformity in Ultrathin SiO2 on Si(111) Characterized by Conductive Atomic Force Microscopy　Ryu Hasunuma, Junichi Okamoto, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe　JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV　43巻　11B号　7861-7865頁　2004/11　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Effect of SiO2 Fence on Atomic Step Flow in Chemical Etching of Si Surface　Daisuke Hojo, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe　JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV　42巻　5B号　L561-L563頁　2003/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Topography Change Due to Multilayer Oxidation at SiO2/Si(111) Interfaces　Daisuke Hojo, Hitoshi Oeda, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe　JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV　42巻　4B号　1903-1906頁　2003/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Leakage current distribution in ultrathin oxide on silicone surface with step/terrace structures　Masahide Murata, Norio Tokuda, Daisuke Hojo and Kikuo Yamabe　THIN SOLID FILMS　414巻　1号　56-62頁　2002/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Atomic Topography Change of SiO2/Si Interfaces during Thermal Oxidation　Daisuke Hojo, Norio Tokuda and Kikuo Yamabe　JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV　41巻　5A号　L505-L508頁　2002/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Growth of atomically step-free surface on diamond {111} mesas　DIAMOND AND RELATED MATERIALS　19巻　4号　288-290頁　2010/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Influence of substrate misorientation on the surface morphology of homoepitaxial diamond (111) films　Tokuda, N. , Ogura, M., Matsumoto, T., Yamasaki, S., Inokuma, T.　Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science　213巻　2051頁　2016　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Atomically flat diamond (100) surface formation by anisotropic etching of solid-solution reaction of carbon into nickel　Kazuhiro Nakanishi, Hiroki Kuroshima, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda　Diamond Relat. Mater. 　68巻　127頁　2016　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Time-resolved cyclotron resonance on dislocation-free HPHT diamond　I. Akimoto, N. Naka, N. Tokuda　Diamond Relat. Mater.　63巻　38頁　2016　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Perfect selective alignment of nitrogen-vacancy centers in diamond　Takahiro Fukui, Yuki Doi, Takehide Miyazaki, Yoshiyuki Miyamoto, Hiromitsu Kato, Tsubasa Matsumoto, Toshiharu Makino, Satoshi Yamasaki, Ryusuke Morimoto, Norio Tokuda, Mutsuko Hatano, Yuki Sakagawa, Hiroki Morishita, Toshiyuki Tashima, Shinji Miwa, Yoshishige Suzuki and Norikazu Mizuochi　Appl. Phys. Express　7巻　055201頁　2014　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Density functional studies of surface potentials for hydrogen and oxygen atoms on diamond (111) surfaces　Samar Moustafa, Norio Tokuda, and Takao Inokuma　Jpn. J. Appl. Phys.　53巻　02BD01頁　2014　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Anisotropic lateral growth of homoepitaxial diamond (111) films by plasma-enhanced chemical vapor deposition　Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Satoshi Yamsaki, and Takao Inokuma　Jpn. J. Appl. Phys. 　53巻　04EH04頁　2014　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Formation of Graphene-on-Diamond Structure by Graphitization of Atomically Flat Diamond (111) Surface　Norio Tokuda, Makoto Fukui, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamsaki, and Takao Inokuma　Jpn. J. Appl. Phys.　2013　査読有　原著論文
  • Fractional Surface Termination of Diamond by Electrochemical Oxidation　René Hoffmann, Harald Obloh, Norio Tokuda, Nianjun Yang, Christoph E. Nebel　Langmuir　28巻　47頁　2012　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • The creation of a biomimetic interface between boron-doped diamond and immobilized proteins　René Hoffmann, Armin Kriele, Harald Obloh, Norio Tokuda, Waldemar Smirnov, Nianjun Yang, Christoph E. Nebel　Biomaterials　32巻　7325頁　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Electron emission from CVD diamond p–i–n junctions with negative electron affinity during room temperature operation　D. Takeuchi, T. Makino, H. Kato, M. Ogura, N. Tokuda, K. Oyama, T. Matsumoto, H. Okushi, and S. Yamasaki　Diamond Relat. Mater.　20巻　917頁　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Structure and electrical properties of (Pr, Mn)-codoped BiFeO 3B-doped diamond layered structure　Takeshi Kawae, Yuji Hori, Takashi Nakajima, Hiroki Kawasaki, Norio Tokuda, Soichiro Okamura, Yoshiko Takano, and Akiharu Morimoto　Electrochem. Solid-State Lett.　14巻　G31頁　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Carrier transport of diamond p+-i-n+ junction diode fabricated using low-resistance hopping p+ and n+ layers　Kazuihiro Oyama, Sung-Gi Ri, Hiromitsu Kato, Daisuke Takeuchi, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Phys. Stat. Sol. (a)　208巻　937頁　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Effects of high-temperature annealing on electron spin resonance in SiOx films prepared by R. F. sputtering system　A.M.A. Shamekh, N. Tokuda, T. Inokuma　J. Non-Cryst. Solids　357巻　981頁　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Annealing Effects on Cathodoluminescence Properties of SiOx Films Deposited by Radio Frequency Sputtering　A.M.A. Shamekh, N. Tokuda, T. Inokuma　Jpn. J. Appl. Phys.　50巻　01BF04頁　査読有　原著論文
  • Diamond Schottky-pn diode without trade-off relationship between on-resistance and blocking voltage　Toshiharu Makino, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Kazuhiro Oyama, Satoshi Tanimoto, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Phys. Stat. Sol. (a)　207巻　2105頁　査読有　原著論文
  • Improvement of (001)-oriented diamond p-i-n diode by use of selective grown n+ layer　Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Kazuhiro Oyama, Daisuke Takeuchi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Phys. Stat. Sol. (a)　207巻　2099頁　査読有　原著論文
  • Electron Emission from a Diamond (111) p–i–n+ Junction Diode with Negative Electron Affinity during Room Temperature Operation　Daisuke Takeuchi, Toshiharu Makino, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Norio Tokuda, Kazuhiro Oyama, Tsubasa Matsumoto, Izumi Hirabayashi, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　Applied Physics Express　3巻　041301頁　2010/03　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）

講演・口頭発表等

  • マイクロ波プラズマCVD 法によるダイヤモンド膜の成長 ～原子レベル制御から高速化、そして自立ウェハの開発へ(会議名：第63回CVD研究会)
  • 革新的パワーデバイスの実現に向けた半導体ダイヤモンドの研究(会議名：第3回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム)(2016/07)

その他（報告書など）

  • Surface roughening of diamond(001) films during homoepitaxial growth in heavy boron doping　Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Takeyasu Saito, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, and Satoshi Yamasaki　16巻　2号　409-411頁　2007/04
  • ダイヤモンド（111）表面の原子的平坦化　徳田規夫, 李成奇, 梅澤仁, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡　87/23巻　4号　30-31頁　2007/10　⑮その他

芸術・フィールドワーク

特許

○ダイヤモンド基板及びその製造方法 (公開年月：2015/07/02)
○ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法 (公開年月：2015/06/22)
○半導体装置 (公開年月：2015/06/08)
○ダイヤモンドの製造方法(公開年月：2016/12/22)
○ダイヤモンドの表面処理方法(特許番号：特許第5948578号)
○ダイヤモンド基板(特許番号：特許第5887742号)
○グラフェン・ダイヤモンド積層体(特許番号：特許第5681959号)
○単結晶ダイヤモンド成長用の基材及び単結晶ダイヤモンドの製造方法(特許番号：特許第5545567号)
○単結晶ダイヤモンド基板(特許番号：特許第5454867号)
○高効率間接遷移型半導体紫外線発光素子(特許番号：特許第5273635号)
○半導体装置(特許番号：特許第5565895号)
○ダイヤモンド薄膜積層体(特許番号：特許第5152836号)
○ダイヤモンド半導体素子(特許番号：特許第5119553号)
○ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法(特許番号：特許第5071815号)
○ダイヤモンド表面上の原子的平坦面の選択的形成方法、そのダイヤモンド基板及びこれを用いた半導体素子(特許番号：4446065)

共同研究希望テーマ

科研費

○若手研究（Ｂ）「原子的に平坦なダイヤモンド（１１１）表面の大面積形成及びその機能の創出」(2008-2009)　代表者
○若手研究(A)「超低損失ダイヤモンドパワーデバイス開発のための基盤研究」(2012-2014)
○挑戦的萌芽研究「インチスケールダイヤモンドウェハ開発のための基盤研究」(2014-2016)
○基盤研究(B)（一般）「低損失縦型ダイヤモンドパワーMOSFET」(2017-2019)　代表者
○挑戦的研究「ダイヤモンドを用いた革新的アンモニア合成法の開発」(2017-2019)　代表者
○基盤研究(A)（一般）「ダイヤモンド表面核スピン格子を用いた室温量子シミュレータの基盤構築」(2018-2020)　分担者

競争的資金・寄付金等

○競争的資金(学外)　(2012-2014)　研究　超低損失ダイヤモンドパワーデバイス開発のための基盤研究　科研費若手A　JSPS
○助成金　(2009-2010)　研究　原子的平坦ダイヤモンド半導体表面を用いたMIS構造の作製と評価　第25回（2009年度）マツダ研究助成　－科学技術振興関係－　財団法人　マツダ財団
○助成金　(2010-2010)　研究　ダイヤモンドを用いたナノメトロロジー標準試料の開発　平成21年度研究開発助成　財団法人　島津科学技術振興財団
○助成金　(2010-2010)　研究　グラフェン/ダイヤモンド構造の創成　平成21年度奨励研究助成　財団法人　矢崎科学技術振興記念財団
○助成金　(2010-2010)　研究　グラフェン・オン・ダイヤモンドの創成　平成22年度共同研究　財団法人　材料科学技術振興財団
○助成金　(2010-2011)　研究　次世代パワーデバイスを目指したダイヤモンドMOS構造に関する研究　平成22年度研究助成　財団法人　村田学術振興財団
○助成金　(2011-2011)　研究　グラフェン・オン・ダイヤモンド材料の開発　平成23年度共同研究　財団法人　材料科学技術振興財団
○競争的資金(学外)　(2010-2011)　研究　ＣＶＤ単結晶ダイヤモンド（１１１）自立基板の開発　A-STEP　FSステージ　シーズ顕在化タイプ　平成22年度　JST

共同研究・受託研究実績

A-STEP採択課題

○半導体ダイヤモンドの開発

学域・学類担当授業科目

○電気電子工学実験第２(2017)
○自主課題研究(2017)
○地域概論(2017)
○電気電子工学実験第１(2017)
○半導体工学(2017)
○自主課題研究(2016)
○電気電子工学実験第１(2016)
○電気電子工学実験第２(2016)
○半導体工学(2016)
○物理学実験(2015)
○電気電子工学実験第２(2015)
○電気電子工学実験第１(2015)
○自主課題研究(2015)
○半導体工学(2015)
○物理学実験(2014)
○電気電子工学実験第１(2014)
○半導体工学(2014)
○電気電子工学実験第２(2014)

大学院担当授業科目

○表面制御工学(2017)
○表面制御工学(2017)
○表面制御工学(2017)
○表面制御工学(2017)
○表面・界面工学(2017)
○表面・界面工学(2016)
○表面制御工学(2016)
○表面制御工学(2015)
○表面・界面工学(2015)
○表面制御工学(2014)
○表面制御工学(2014)
○ナノ材料工学(2014)
○表面・界面工学(2014)

他大学の客員教授

教育活動（FD）に関する研究

国際事業協力

留学生参加の社会活動

審議会等の参加

○応用物理学会　薄膜・表面物理分科会常任幹事(2012/04/01-2014/03/31)

講演可能なテーマ

その他公的社会活動

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