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研究者情報

データ更新日：2025年12月05日

吉元　健治　（よしもと　けんじ）　准教授　Yoshimoto Kenji

所属組織・役職等

設計製造技術研究所　デジタルツイングループ

教育分野

【学士課程】
理工学域　フロンティア工学類
【大学院前期課程】
自然科学研究科　フロンティア工学専攻
【大学院後期課程】
自然科学研究科　自然システム学専攻

所属研究室等

自然科学研究科 フロンティア工学専攻 化学機械プロセス工学研究室

学歴

【出身大学院】
University of Wisconsin - Madison　Graduate School of Engineering　Department of Chemical Engineering　2005　修了
【取得学位】
Ph.D.

職歴

金沢大学　設計製造技術研究所　准教授(2024-)
東レ株式会社　先端材料研究所　主席研究員(2022-2023)
先端素材高速開発技術研究組合　主任研究員(2020-2022)
東レ株式会社　先端材料研究所　主任研究員(2019-2020)
京都大学　学際融合教育研究推進センター　特定准教授(2012-2019)
GlobalFoundries　Member of Technical Staff(2009-2012)
Advanced Micro Devices　Senior Research Engineer(2008-2009)

生年月

所属学会

フォトポリマー学会
応用物理学会
SPIE（国際光工学会）
化学工学会
高分子学会

学内委員会委員等

受賞学術賞

○フォトポリマー学会 最優秀論文賞(2017)

専門分野

生物物理・化学物理・ソフトマターの物理

専門分野キーワード

研究課題

次世代リソグラフィ技術創出に向けた誘導自己組織化(DSA)の研究開発

革新高分子分離膜のデジタル設計

著書

  • Microlithography: Science and Technology, 3rd Ed. (B. Smith & K. Suzuki Eds.)　CRC Press　2020/05　原著書　分担執筆　Chi-chun Liu,Kenji Yoshimoto,Juan de Pablo,Paul Nealey　1439876754
  • ブロック共重合体の構造設計と応用展開(竹中幹人監修)　シーエムシー出版　2018/10　原著書　分担執筆　吉元 健治　9784781313511

論文

  • Effective pitch reduction of self-assembled lamellae by the use of (PS-b-PMMA)n multiblock copolymers　Kenji Yoshimoto,Takashi Taniguchi　Japanese Journal of Applied Physics　64巻　02SP05頁　2025/02/03　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Bottom-up Multiscale Simulation of Nonlinear Rheology for Entangled Polymer Melts: Using Atactic Polystyrene as An Example　Heyi Liang,Kenji Yoshimoto,Stuart J. Rowan,Juan J. de Pablo　Macromolecules　57巻　24号　11808頁　2024/12/04　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Recent developments on multiscale simulations for rheology and complex flow of polymers　Takeshi Sato,Kenji Yoshimoto　Korea-Australia Rheology Journal　36巻　4号　253頁　2024/10/24　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Multiscale rheology model for entangled Nylon 6 melts　Heyi Liang,Kenji Yoshimoto,Masahiro Kitabata,Umi Yamamoto,Juan J. de Pablo　Journal of Polymer Science　60巻　22号　3071頁　2022/10/07　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Control of the Cell Structure of UV-Induced Chemically Blown Nanocellular Foams by Self-Assembled Block Copolymer Morphology　Podchara Rattanakawin,Kenji Yoshimoto,Yuta Hikima,Shinsuke Nagamine,Yuhan Jiang,Masatoshi Tosaka,Shigeru Yamago,Masahiro Ohshima　Macromolecules　55巻　12号　5176頁　2022/06/28　査読有　研究論文（学術雑誌）　

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  • Bottom-Up Multiscale Approach to Estimate Viscoelastic Properties of Entangled Polymer Melts with High Glass Transition Temperature　Heyi Liang,Kenji Yoshimoto,Phwey Gil,Masahiro Kitabata,Umi Yamamoto,Juan J. de Pablo　Macromolecules　55巻　8号　3159頁　2022/04/05　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Viscoelastic phase separation model for ternary polymer solutions　The Journal of Chemical Physics　154巻　10号　2021/03/11　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Highly Ordered Nanocellular Polymeric Foams Generated by UV-Induced Chemical Foaming　Podchara Rattanakawin,Kenji Yoshimoto,Yuta Hikima,Alvin Chandra,Teruaki Hayakawa,Masatoshi Tosaka,Shigeru Yamago,Masahiro Ohshima　ACS Macro Letters　9巻　10号　1433頁　2020/10/20　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Development and Optimization of UV-Induced Chemical Foaming Process　Journal of Photopolymer Science and Technology　32巻　5号　693頁　2019/06/24　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • 誘導自己組織化の実現に向けて　吉元健治　高分子　67巻　9号　523頁　2018/09/01　査読有　展望　研究論文（学術雑誌）　
  • Synthesis of Photocleavable Block Copolymers for UV Induced Foaming　Journal of Photopolymer Science and Technology　31巻　5号　647頁　2018/06/25　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • Direct Self-Assembly for Non-Periodic Designs　Journal of Photopolymer Science and Technology　29巻　5号　709頁　2016/06　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • Effect of wall potential on morphology of symmetric diblock copolymers in nanotrench　Japanese Journal of Applied Physics　55巻　6S1号　06GE01頁　2016/04/13　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • Control of morphological defects at the boundary between the periodic and non-periodic patterns in directed self-assembly process　ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VIII　9777巻　97771O頁　2016/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Effects of thermal fluctuations and block copolymers compositions on defects in directed self-assembly hole shrink process　JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　54巻　6号　06FE01頁　2015/06　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • Optimization of directed self-assembly hole shrink process with simplified model　Kenji Yoshimoto,Ken Fukawatase,Masahiro Ohshima,Yoshihiro Naka,Shimon Maeda,Satoshi Tanaka,Seiji Morita,Hisako Aoyama,Shoji Mimotogi　JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS　13巻　3号　031305頁　2014/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • DFM for Defect-Free DSA Hole Shrink Process　ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VI　9049巻　90491頁　2014/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Multi-Scale DSA Simulations For Efficient Hotspot Analysis　ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VI　9049巻　90492L頁　2014/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Large-Scale Dynamics of Directed Self-Assembly Defects on Chemically Pre-Patterned Surface　ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES V　8680巻　86801頁　2013　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Large-Scale Simulations of Directed Self-Assembly with Simplified Model　Journal of Photopolymer Science and Technology　26巻　6号　809頁　2013/06　査読有　研究論文（学術雑誌）　
  • Exploration of the directed self-assembly based nano-fabrication design space using computational simulations　Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　8680巻　868013頁　2013/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Scalable Simulations for Directed Self-Assembly Patterning with the use of GPU Parallel Computing　ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES IV　8323巻　83232頁　2012/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • New Methodology to Predict Pattern Collapse for 14nm and Beyond　OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXV, PTS 1AND 2　8326巻　83261頁　2012/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Fundamental Investigation of Negative Tone Development (NTD) for the 22nm node (and beyond)　ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVIII　7972巻　797206頁　2011/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Revisit Pattern Collapse for 14nm Node and Beyond　ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVIII　7972巻　79720頁　2011/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Hexameric Helicase Deconstructed: Interplay of Conformational Changes and Substrate Coupling　BIOPHYSICAL JOURNAL　98巻　8号　1449頁　2010/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • CDSEM Focus/Dose Monitor for Product Applications　METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXIV　7638巻　763804頁　2010/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Considerations in Source-Mask Optimization for Logic Applications　OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIII　7640巻　76401J頁　2010/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Inverse vs. traditional OPC for the 22nm node　SPIE Proceedings　7274巻　72743A頁　2009/03/13　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Calibrating OPC model with full CD profile data for 2D and 3D patterns using scatterometry　A. D. Dave,O. Kritsun,Y. Deng,K. Yoshimoto,J. Li,J. Hu　Proc. SPIE　7274巻　727415頁　2009/03　査読有　研究論文（プロシーディング）
  • Correlation of Experimental and Simulated Cure-Induced Photoresist Distortions in Double Patterning　ADVANCES IN RESIST MATERIALS AND PROCESSING TECHNOLOGY XXVI　7273巻　727309頁　2009/03　査読無　研究論文（プロシーディング）
  • Mechanical properties of polymer nanostructures: measurements based on deformation in response to capillary forces　APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING　90巻　2号　277頁　2008/02　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • Influence of confinement on the fragility of antiplasticized and pure polymer films　PHYSICAL REVIEW LETTERS　97巻　4号　045502頁　2006/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Local mechanical properties of polymeric nanocomposites　PHYSICAL REVIEW E　72巻　3号　31801頁　2005/09　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Isothermal stress and elasticity tensors for ions and point dipoles using Ewald summations　PHYSICAL REVIEW E　71巻　6号　61102頁　2005/06　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Statistical calculation of elastic moduli for atomistic models　PHYSICAL REVIEW B　71巻　18号　184108頁　2005/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Local dynamic mechanical properties in model free-standing polymer thin films　JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS　122巻　14号　1頁　2005/04　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Mechanical heterogeneities in model polymer glasses at small length scales　PHYSICAL REVIEW LETTERS　93巻　17号　1頁　2004/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • A two-dimensional model of the deformation of photoresist structures using elastoplastic polymer properties　JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　96巻　4号　1857頁　2004/08　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • The use of surfactant in the rinse to improve collapse behavior of chemically amplified photoresists　ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XXI, PTS 1 AND 2　5376巻　842頁　2004　査読無　研究論文（プロシーディング）　
  • Deformation of nanoscopic polymer structures in response to well-defined capillary forces　ADVANCED MATERIALS　15巻　14号　1180頁　2003/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）　
  • 「全原子モデルに立脚したボトムアップ型粗視化モデルを用いたポリマーメルトの粘弾性予測」　吉元健治,北畑雅弘　アンサンブル　25巻　1号　59頁　2023/01　査読有

講演・口頭発表等

その他（報告書など）

  • 大規模全原子分子動力学シミュレーションによるポリマーメルトの絡み合い分子量予測　吉元健治　HPCI システム利用研究課題 利用報告書　2022/11　査読無
  • 高分子分離膜の大規模シミュレーション　吉元健治　京都大学 学術情報メディアセンター 全国共同利用版［広報］　17巻　1号　49頁　2018/12　査読無　⑧総説・解説（大学・研究所紀要）
  • 誘導自己組織化の実現に向けて　吉元健治　高分子　67巻　9号　523頁　2018/09/01　査読有
  • 高分子溶液の相分離に関する大規模なシミュレーション　吉元健治　京都大学化学研究所スーパーコンピュータシステム研究成果報告書　2017巻　58頁　2017/03　査読無　⑧総説・解説（大学・研究所紀要）
  • 大規模スケールでのブロック共重合体薄膜の自己組織化形状予測　吉元健治　京都大学 学術情報メディアセンター 全国共同利用版［広報］　13巻　2号　4頁　2015/02　査読無　⑧総説・解説（大学・研究所紀要）

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  • ウィスコンシン州立大学マディソン校化学工学科 : ニーリー教授とデパブロ教授の先端ナノリソグラフィの研究について　吉元 健治　成形加工　15巻　5号　347頁　2003/05/20　査読無

芸術・フィールドワーク

特許

○学習用データ生成方法および学習用データ生成プログラム(特許番号：特開2025-005414)
○予備学習済みモデル用の学習用データ生成方法、学習済みモデル生成方法、物性推定方法、予備学習済みモデル用の学習用データ生成プログラム、学習済みモデル生成プログラムおよび物性推定プログラム(特許番号：特開2024-089623)

共同研究希望テーマ

科研費

○研究活動スタート支援「伸長流動下での非溶媒誘起相分離」(2024-2025)　代表者

競争的資金・寄付金等

共同研究・受託研究実績

A-STEP採択課題

学域・学類担当授業科目

○マテリアルシミュレーションＡ(2025)
○マテリアルシミュレーションＢ(2025)
○マテリアルプロセス創成(2025)
○熱力学Ａ(2025)
○フロンティア工学概論A(2025)
○フロンティア工学概論B(2025)
○マテリアルシミュレーションＢ(2024)
○マテリアルプロセス創成(2024)
○先端テクノロジー概論Ａ(2024)

大学院担当授業科目

○プロセス工学特論Ｂ（フロンティア）(2025)
○先端半導体プロセス工学概論Ａ(2025)
○先端半導体プロセス工学概論B(2025)
○先端半導体プロセス工学特論(2025)
○先端半導体プロセス工学特論(2024)
○異分野研究探査Ⅰ(2024)
○プロセス工学特論Ｂ(2024)

他大学の客員教授

○大阪公立大学　（非常勤講師）

教育活動（FD）に関する研究

国際事業協力

留学生参加の社会活動

審議会等の参加

○第37回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議論文委員(2024/06-2024/12)
○フォトポリマー学会組織委員(2024/04-2024/08)

講演可能なテーマ

その他公的社会活動

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