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研究者情報

データ更新日：2024年01月08日

橋本　洋平　（はしもと ようへい）　准教授　HASHIMOTO, Yohei

研究室ウェブサイト

所属組織・役職等

理工研究域　機械工学系　生産加工システム講座
助教

教育分野

【学士課程】
理工学域　機械工学類　機械創造コース
【大学院前期課程】
自然科学研究科　機械科学専攻

所属研究室等

学歴

【出身大学院】
名古屋大学大学院　博士課程　工学研究科　機械科学専攻　2010/03
名古屋大学大学院　修士課程　工学研究科　機械科学専攻　2007/03
【出身大学】
名古屋大学　工学部　機械航空工学科　2005/03
【取得学位】
博士(工学)

職歴

金沢大学　理工研究域　助教(2015/04/01-)
名古屋大学　工学研究科　博士研究員(2014/01/01-2015/03/31)
株式会社マキタ(2010/04/01-2013/12/31)

生年月

所属学会

日本機械学会
精密工学会
砥粒加工学会

学内委員会委員等

受賞学術賞

○2018年度精密工学会北陸信越支部奨励賞(2019/11/09)
○平成25事業年度 優秀論文賞(2014/05)
○第26次奨励賞(2005/06)
○第30回精密工学会沼田記念論文賞(2014/03)

専門分野

生産工学・加工学

専門分野キーワード

研磨加工，CMP，両面研磨，砥粒加工，接触問題解析，摩擦減衰

研究課題

CMPにおける研磨現象に関する研究

両面研磨における研磨液流れに基づく理論構築

Smart両面研磨の開発

ジャイロバレル研磨に関する研究

新型ドラッグフィニッシュ装置の開発

AM造形物に対するバレル研磨を用いた仕上げ加工に関する研究

著書

論文

  • Finishing speed improvement using side cover plates in gyro finishing　Hashimoto Y., Nakayama Y., Furumoto T., Sekiya A., Yamada T., Kawahara T., Hosokawa A.　International Journal of Automation Technology　17巻　1号　47-54頁　2023/01　査読有　原著論文
  • Novel method to visualize Preston's coefficient distribution for chemical mechanical polishing process　Yohei Hashimoto, Tatsuaki Furumoto, Takumi Sato, Norikazu Suzuki, Hozumi Yasuda, Satoru Yamaki, Yoshihiro Mochizuki　Japanese Journal of Applied Physics　61巻　116521頁　2022/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Process state estimation in chemical mechanical polishing (CMP) by inverse analysis of in-process data　Norikazu Suzuki, Rion Yamaguchi, Yohei Hashimoto, Hozumi Yasuda, Satoru Yamaki, Yoshihiro Mochizuki　CIRP Annals - Manufacturing Technology　71巻　1号　273-276頁　2022/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • 電解加工を用いた一括表面テクスチャリングにおけるテクスチャの微細化　小谷野智広, 高橋克成, 細川晃, 古本達明, 橋本洋平　電気加工学会誌　56巻　141号　52-60頁　2022/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Improving finishing efficiency using a cover plate in gyro finishing　Hashimoto Y., Nakayama Y., Furumoto T., Hosokawa A.　Precision Engineering　72巻　140-146頁　2022/03　査読有　原著論文

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  • A calculation method for workpiece profile variation during double-sided lapping by considering workpiece elastic deformation 　Hashimoto Y., Ozaki R., Furumoto T., Hosokawa A.　Precision Engineering　73巻　457-469頁　2022/01　査読有　原著論文
  • A novel measurement method for the torque acting on the upper platen in a three-way double-sided lapping/polishing machine　Hashimoto Y., Ozaki R., Furumoto T., Hosokawa A.　Precision Engineering　72巻　891-898頁　2021/11　査読有　原著論文
  • Thermal stress cleavage of a single-crystal round sapphire bar by carbon dioxide laser 　Furumoto T., Saito R., Watanabe K., Ochi Y., Hashimoto Y., Yamaguchi M., Koyano T., Hosokawa A.　Journal of Materials Processing Technology　297巻　117237頁　2021/11　査読有　原著論文
  • Study on the relationship between material removal rate and tool flank temperature in orthogonal turn-milling 　Shimanuki K., Hosokawa A., Koyano T., Furumoto T., Hashimoto Y. 　Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing　15巻　3号　JAMDSM0043頁　2021/06　査読有　原著論文
  • Experimental investigation into the spatter particle behavior of maraging steel during selective laser melting　Furumoto T., Egashira K., Oishi K., Abe S., Yamaguchi M., Hashimoto Y., Koyano T., Hosokawa A.　Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing　15巻　4号　JSMDSM0039頁　2021/06　査読有　原著論文
  • Effects of the powder morphology, size distribution, and characteristics on the single track formation in selective laser melting of H13 steel 　Yamaguchi M., Furumoto T., Tanabe Y., Yamada S., Osaki M., Hashimoto Y., Koyano T., Hosokawa A.　Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing　15巻　3号　JSMDSM0035頁　2021/06　査読有　原著論文
  • CO2 laser cleavage of chemically strengthened glass　Furumoto T., Hashimoto Y., Ogi H., Kawabe T., Yamaguchi M., Koyano T., Hosokawa A.　Journal of Materials Processing Technology　289巻　116961頁　2021/03　査読有　原著論文
  • Internal face finishing for a cooling channel using a fluid containing free abrasive grains　Yamaguchi M., Furumoto T., Inagaki S., Tsuji M., Ochiai Y., Hashimoto Y., Koyano T., Hosokawa A.　The International Journal of Advanced Manufacturing Technology　114巻　497-507頁　2021/03　査読有　原著論文
  • Fundamental investigation of gyro barrel finishing - Experimental investigation of contact force between cylindrical workpiece and abrasive media under dry conditions - 　Yohei Hashimoto, Takuma Ito, Yugo Nakayama, Tatsuaki Furumoto, Akira Hosokawa　Precision Engineering　67巻　1号　123-136頁　2021/01　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Studies on high-efficiency and high-precision orthogonal turn-milling, The effects of relative cutting speed and tool axis offset on tool flank temperature 　Koji Shimanuki, Akira Hosokawa, Tomohiro Koyano, Tatsuaki Furumoto, Yohei Hashimoto　Precision Engineering　66巻　180-187頁　2020/11　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Material removal efficiency improvement by orientation control of CMP pad surface asperities　Norikazu Suzuki, Hirotaka Misono, Eiji Shamoto, Yohei Hashimoto, Hozumi Yasuda, Yoshihiro Mochizuki　Precision Engineering　62巻　3号　83-88頁　2020/03　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Studies on eco-friendly grinding with an extremely small amount of coolant, Applicability of contact-type flexible brush-nozzle 　Akira Hosokawa, Ryosuke Shimizu, Takihiro Kiwata, Tomohiro Koyano, Tatsuaki Furumoto, Yohei Hashimoto　International Journal of Automation Technology　13巻　5号　648-656頁　2019/09　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Formation mechanism of pores inside structure fabricated by metal-based additive manufacturing　Kyota Egashira, Tatsuaki Furumoto, Kiichi Hishida, Satoshi Abe, Tomohiro Koyano, Yohei Hashimoto, Akira Hosokawa　International Journal of Automation Technology　13巻　3号　330-337頁　2019/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Estimation of material removal rate distribution in double-sided polishing of thick square workpiece considering workpiece attitude　Yohei HASHIMOTO, Tomoya SANO, Tatsuaki FURUMOTO, Akira HOSOKAWA　Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing　13巻　1号　JAMDSM0020頁　2019/03/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Development an identification method of friction coefficient between wafer and carrier in double-sided lapping　Yohei Hashimoto, Tomoya Sano, Tatsuaki Furumoto, Akira Hosokawa　Precision Engineering　In Press巻　In Press号　In Press頁　2019/02/07　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Turning of difficult-to-machine materials with an actively driven rotary tool (ADRT), Proposition of reciprocating turning contingent on fundamental cutting characteristics 　Akira HOSOKAWA, Haruki YOSHIMATSU, Tomohiro KOYANO, Tatsuaki FURUMOTO, Yohei HASHIMOTO　Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing　12巻　5号　JAMDSM0103頁　2018/10　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • 両面研磨シミュレーションに基づくウェハ挙動の検討 　橋本 洋平, 佐野 智哉, 古本 達明, 細川 晃　精密工学会誌　84巻　2号　188-193頁　2018/02　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Prediction of polishing pressure distribution in CMP process with airbag type wafer carrier　Norikazu Suzuki, Yohei Hashimoto, Hozumi Yasuda, Satoru Yamaki, Yoshihiro Mochizuki　CIRP Annals -Manufacturing Technology　66巻　1号　329-332頁　2017/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • 両面研磨におけるウェハとキャリアの接触を考慮したウェハ挙動の高精度解析手法の開発 　橋本洋平, 近藤亮太, 古本達明, 細川晃　精密工学会誌　83巻　5号　2017/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Evaluation of the Minimum Quantity Lubrication in Orthogonal Cutting with the Application of Finite Element Method　A. S. Jamaludin, A. Hosokawa, T. Furumoto, T. Koyano, Y. Hashimoto　International Journal of Mechanical and Mechatronics Engineering　17巻　01号　2017/01　査読有　原著論文
  • Tool Failure Mechanism in High-Speed Milling of Inconel 718 by Use of Ceramic Tools　鈴木教和, 延命理沙, 橋本洋平, 社本英二, 波多野祐規　International Journal of Automation Technology　8巻　6号　837-846頁　2014/06　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • Analytical prediction of contact stiffness and friction damping in bolted connection　社本英二, 橋本洋平, 品川幹, Burak Sencer　CIRP Annals – Manufacturing Technology　63巻　1号　353-356頁　2014/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • 研磨パッドの微細凹凸接触を考慮したCMPプロセスのEHL解析　橋本洋平, 鈴木教和, 浅羽正和, 樋野励, 社本英二　精密工学会誌　79巻　1号　73-80頁　2013/01　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）
  • 平坦化CMP における高精度研磨レート分布推定技術の開発　鈴木教和, 橋本洋平　精密工学会誌　84巻　3号　221頁　2018/03　査読無　解説
  • CMPプロセスにおける接触応力の動的有限要素法解析　橋本洋平, 鈴木教和, 樋野励, 社本英二　精密工学会誌　77巻　5号　513-519頁　2011/05　査読有　原著論文　研究論文（学術雑誌）

講演・口頭発表等

  • ジャイロバレル研磨を活用した金属AM造形物のサポート除去(会議名：2022年度砥粒加工学会学術講演会)(2022/08/29)
  • 加工物軸方向の研磨速度の偏りを解消できる新型ドラッグフィニッシュ装置(会議名：2022年度砥粒加工学会学術講演会)(2022/08/29)
  • 矩形加工物の両面研磨における研磨レート分布の推定(会議名：2017年度精密工学会秋季大会学術講演会)(2017/09/20)
  • 両面研磨におけるウェハーキャリア間の摩擦係数の高精度推定手法の開発 (会議名：2018年度精密工学会北陸信越支部学術講演会)(2017/10/28)
  • 両面研磨におけるウェハ－キャリア間の摩擦係数の調査 ― ウェハ－キャリア間の垂直抗力が及ぼす影響の評価 ―(会議名：2018年度精密工学会春季大会学術講演会)(2018/03/15)

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  • 両面研磨における加工物上面の研磨液挙動の検討(会議名：研磨の基礎科学とイノベーション化専門委員会 第24回研究会)(2022/11/24)
  • 両面研磨における加工物上面への研磨液供給経路の検討(会議名：2023年度精密工学会春季大会学術講演会)(2023/03/14)
  • CMPにおけるプレストン係数分布の可視化(会議名：2023年度精密工学会春季大会学術講演会)(2023/03/14)
  • ジャイロバレル研磨を活用した金属AM造形物のサポート除去に関する検討(会議名：生産システム部門研究発表講演会2023)(2023/03/06)
  • ジャイロバレル研磨によるコーティング膜の表面粗さ向上の試み(会議名：第14回 生産加工・工作機械部門講演会)(2022/10/07)
  • Effective removal of support structures constructed by PBF process using gyro finishing(会議名：The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022))(2022/11/28)
  • Novel drag finishing machine for less variation in finishing speed(会議名：The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022))(2022/11/28)
  • 拘束板によるジャイロ式バレル研磨の性能向上の検討(会議名：精密工学会2020年度春季大会学術講演会(第27回「学生会員卒業研究発表講演会」))(2020/03)
  • 両面研磨における加工物上下面の研磨量に関する研究(会議名：精密工学会2020年度春季大会学術講演会(第27回「学生会員卒業研究発表講演会」))(2020/03)
  • ジャイロ式バレル研磨に関する基礎検討 ―加工物設置位置が研磨特性に及ぼす影響の検討―(会議名：精密工学会2020年度春季大会学術講演会)(2020/03)
  • 両面研磨に関する数値解析的アプローチ(会議名：精密工学会2020年度春季大会学術講演会)(2020/03)
  • Investigation of Contact Force between Cylindrical Workpiece and Abrasive Media in Gyro Finishing Process(会議名：ISAAT2019 (The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology))(2019/12)
  • Investigation on force acting on workpiece with respect to actual amount of abrasive media on the workpiece in dry gyro barrel finishing(会議名：8th International Conference of ASPEN (ASPEN2019))(2019/11)
  • 乾式ジャイロ式バレル研磨における砥粒と加工物の接触力に関する検討-砥粒径10 mmにおける検討-(会議名：精密工学会北陸信越支部2019年度学術講演会)(2019/11)
  • MOMENT DEPENDENT SHIFT IN TRAILING EDGE CONTACT POSITION AGAINST RETAINER RING IN CMP(会議名：2019 international conference on planarization/CMP technology (ICPT 2019))(2019/09)
  • ジャイロ式バレル研磨における接触力の基礎検討(会議名：2019年度砥粒加工学会学術講演会 (ABTEC2019))(2019/08)
  • 両面研磨におけるキャリア内でのウェハオフセット量が研磨特性に及ぼす影響の解析的検討(会議名：2019年度砥粒加工学会学術講演会 (ABTEC2019))(2019/08)
  • Improvement in prediction accuracy of polishing pressure distribution in CMP process (会議名：International Conference on Planarization/CMP Technology 2018)(2018/10/14)
  • 両面研磨における加工物形状推移の推定(会議名：精密⼯学会 第２6回学生会員卒業研究発表講演会)(2019/03/13)
  • 両面研磨における加工物厚み分布の推定(会議名：2018年度精密工学会北陸信越支部学術講演会)(2018/11/10)
  • 両面研磨における薄板ウェハの研磨圧力分布の解析手法の開発(会議名：2019年度精密⼯学会春季⼤会)(2019/03/13)
  • 両面研磨におけるキャリア駆動力の推定手法の開発(会議名：2018年度精密⼯学会秋季⼤会)(2018/09/05)
  • 両面研磨における加工物上下面の加工量分布測定(会議名：2018年度砥粒加工学会学術講演会)(2018/08/29)
  • 両面研磨におけるドレス量分布の推定手法の開発(会議名：2018年度砥粒加工学会学術講演会)(2018/08/29)

その他（報告書など）

芸術・フィールドワーク

特許

共同研究希望テーマ

科研費

○基盤研究(C)（一般）「両面研磨加工における加工物‐定盤間への研磨液浸入現象の解明と効果的な供給技術開発」(2022-2024)　代表者
○若手研究「湿式バレル研磨における加工面での砥粒挙動に基づく理論構築」(2020-2021)　代表者
○基盤研究(B)（一般）「窒化バナジウムを含有する高温潤滑複合コーティング膜の開発とその難削材加工への適用」(2018-2020)　分担者
○若手研究「複雑形状に対する表面粗さ向上を実現するジャイロ式バレル研磨の理論構築」(2018-2019)　代表者
○基盤研究(C)「非う蝕性歯質欠損のin vitroによる発生機序解明に関する研究」(2017-2019)　分担者

競争的資金・寄付金等

○競争的資金(学外)　(2022-2023)　研究　定盤トルクのリアルタイム計測を核としたSmart両面研磨機の開発　研究成果最適展開支援プログラム（A-STEP） トライアウト　JST
○競争的資金(学外)　(2021-2023)　研究　Ｓｏｃｉｅｔｙ５．０の実現に不可欠な超小型デジタル部品の生産性を飛躍的に高めるバレル研磨法の開発　令和３年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）　経済産業省

共同研究・受託研究実績

A-STEP採択課題

学域・学類担当授業科目

○機械工作実習(2018)
○機械解析入門Ｂ(2018)
○機械解析入門Ｂ(2017)
○機械工作実習(2017)
○機械解析入門Ｂ（平成２８年度入学者用）(2017)
○機械解析入門Ｂ(2016)
○機械工作実習(2016)
○機械工学実験II(2015)
○機械工学実験I(2015)

大学院担当授業科目

○機械加工学(2017)
○機械加工学(2016)

他大学の客員教授

教育活動（FD）に関する研究

国際事業協力

留学生参加の社会活動

審議会等の参加

講演可能なテーマ

その他公的社会活動

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